中古 VERTEQ 1600-55A #9124029 を販売中

VERTEQ 1600-55Aは、半導体の製造アプリケーションで使用するために設計されたフォトレジスト機器です。フォトリソグラフィープロセス用の半導体ウェーハに適用されるレジストの薄膜を作成するために使用される精密ベンチマウント機です。このシステムには、精密な光学アライメントユニットが装備されており、高精度で再現性のあるフォトレジストを適用するために使用することができます。1600-55Aには、厚さ55Aまで200mm、 150mm、 100mmのウェーハに対応できる800µmウェーハローダーが付属しています。高速なサイクルタイムを持ち、毎秒4回のウェーハ停止が可能で、ハイスループット生産が可能です。また、ステップモータ/ドライブとウェーハのローディング、運転、位置決めのための外部エアシリンダを備えています。フォトレジストディスペンスツールには、3つのポンプ（ネガティブデジタル用2つ、ポジティブディスペンス用1つ）と圧力レギュレータとミキシングバルブが含まれています。クイックチェンジプログラマブル機能を備えたステップスプレッドやコーナーマスキングなどのプログラマブルなコーティング/マスキング機能を選択できます。このアセットは、高精度、再現性、およびウェーハにレジストを均一に適用することができます。フォトレジストモデルは、1024ポイントリニアエンコーダと、フォトマスク交換プロセス全体にわたって精度と再現性を維持する直接デジタル制御装置を備えています。静電気を除去する帯電防止装置も装備しており、コーティングフィルムやウェーハの損傷を防ぎます。機械は標準的なクリーンルームの条件を満たすように設計され、製造されます。また、酸およびアルカリ化学物質に対する長期的な耐性を確保するために、ステンレス鋼とエポキシコーティングの組み合わせから作られています。要約すると、VERTEQ 1600-55Aフォトレジストシステムは、半導体ウェハにフォトレジストの薄膜を高精度、再現性、均一性で適用するために使用される精密なベンチマウント機です。それは半導体製造の使用のために設計され、プログラム可能なコーティング/マスキングの特徴の選択を含んでいます。それはまた標準的なクリーンルームの条件を満たし、耐久材料からなされます。