中古 VERTEQ 1600-55A #293711667 を販売中

VERTEQ 1600-55Aは、半自動化されたフォトレジストの開発、剥離、コーティング用に設計された高度な自動フォトレジスト処理装置です。ウェーハ基板上のフォトレジストを正確かつ正確にパターン化できる強力なレーザーを備えています。フォトレジストは、最適な処理のためにカートリッジから分配されます。また、1600-55Aには、フォトレジストのベースレイヤーをパターニング前に適用できるモーターが装備されています。VERTEQ 1600-55Aは、フォトレジストパターンを正確に特定するための高解像度光イメージングシステムを備えています。このユニットは、エッジ検出測定を行うことで動作し、既存の感光機能の上に位置を直接配置することができます。この機能により、フォトレジストパターニングプロセスのステップを排除することで、サイクルタイムを短縮できます。1600-55Aはまた、温度および/または溶媒混合を容易にする自己完結型の加熱モジュールを備えています。このモジュールは標準的な実験室のサイズの10の溶媒まで握ることができ、16まで異なった組合せの調理法を貯えることができます。このモジュールは、フォトレジストの迅速な処理のために外部に適用された熱と組み合わせて使用することができます。さらに、VERTEQ 1600-55Aはダイナミックフローセルを使用して、さまざまな圧力でフォトレジストを正確に適用します。流体流量を制御し、レジスト汚染を低減することにより、ウェーハ全体の均一なレジスト厚さを確保します。1600-55Aのレーザー構成は、異なるレーザー波長、パルスパターン、露光時間を選択することで、ユーザーの希望する仕様にカスタマイズできます。安全性の面では、VERTEQ 1600-55Aは、緊急時に自動的に機械をシャットオフできる防火部品で設計されています。さらに事故を防ぐために、このツールは安全シールドで設計されており、オペレータの目と皮膚をレーザー放射から保護します。さらに、内蔵の冷却アセットは、モデルが過熱しないようにするのに役立ちます。全体として、1600-55Aは効率的で正確なレジストパターニングを提供する高度で自動化されたフォトレジスト加工装置です。その機能は、産業から研究開発まで、幅広い用途に最適です。