中古 VERTEQ 1600-55A #293655504 を販売中

VERTEQ 1600-55A
製造業者
VERTEQ
モデル
1600-55A
ID: 293655504
Spin Rinse Dryer (SRD).
VERTEQ 1600-55Aは、さまざまなマイクロエレクトロニクス用途のフォトレジスト材料を開発するための信頼性が高く、正確かつ一貫した方法を提供する高精度露光装置です。このシステムは、高解像度で強力なイメージング能力を備えており、MEMSやマイクロエレクトロニクス用のシリコンウェーハやフォトリソグラフィ材料などのフォトレジスト材料の複雑な設計に最適です。1600-55Aは、フォトレジスト上の鮮明で鮮明な画像を得るための超精密4x5"解像度を備えた強力な2段イメージングユニットを内蔵しています。機械は1。2--2。2の光学集中の範囲と370mW/cm2する50mW/cm2の調節可能な紫外線光強度で作動します。さらに、このツールは、エネルギー消費を最小限に抑え、露出プロセス中に利用可能なエネルギーを効率的に利用するように設計されています。さらに、電子インクジェットユニットと自動ウェハステージを備えており、正確かつ均一な登録と移動制御が可能です。VERTEQ 1600-55Aは、イメージングプロセスを簡単に操作できる包括的なソフトウェアスイートも提供します。このソフトウェアを使用すると、露光時間、紫外線の強度、ウェハステージの動きなどのプロセスパラメータを指先で定義できます。さらに、このソフトウェアは、ユーザーが頻繁に使用するさまざまなレシピを事前に設定し、監視およびデバッグの目的のためにリアルタイムのプロセスステータスにアクセスするために使用できます。さらに、このモデルには直感的なユーザーインターフェイスが装備されており、イメージングパラメータに簡単にアクセスできます。1600-55Aは、フォトレジスト用途向けの高精度で堅牢なイメージングソリューションを提供します。高解像度で強力なイメージング能力を備えた高度なイメージング装置は、鮮明で鮮明なフォトレジスト画像を開発する優れた方法を提供します。さらに、VERTEQ 1600-55Aは、包括的な制御ソフトウェアを使用して、フォトレジスト材料のマイクロエレクトロニクス設計を製造するための信頼性の高い均一なイメージングプロセスを保証します。
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