中古 VERTEQ 1600-44 #5954 を販売中

VERTEQ 1600-44は、集積回路およびその他の高度なアプリケーション要件の開発と製造のために設計された高度なフォトレジスト機器です。ウェーハ基板上にフォトレジスト層を作成・加工する際に、高度な微細制御を可能にするため、工具製造用アーマメンタリウムの先進的な武器です。1600-44は0。1 um（ミクロン）から250 umに及ぶ厚さの基質の良質のフォトレジストの層を作成することができる完全に自動化されたシステムです。ユニットは、特別なフォトレジストディスペンサー機、前処理および露光システム、およびスピンコーターアセンブリで構成されています。このツールは、ウェーハ処理と処理の迅速かつ効率的なプロセスを可能にします。プリトリートメントのアセットでは、ウエハ基板に特殊な界面活性剤/洗浄液を用意し、次に、ウエハ基板にフォトレジストソリューションをコーティングするスピンコーターアセンブリを用意しています。干渉、ステッパアライメント、レーザーリソグラフィなど、フォトレジスト層にはさまざまな露光技術が採用されています。VERTEQ 1600-44の露出モデルは、高精度で光強度と干渉を制御することができます。1600-44のポスト露光装置は、フォトレジストの迅速な開発を可能にします。ウェーハ基板にコーティングされたフォトレジストは、光露出やドライエッチングなど、さまざまなユニークなポスト露出プロセスによって化学的に処理され、開発されています。これにより、ウエハ基板上に複雑なパターンや設計要素を作成するプロセスが容易になります。VERTEQ 1600-44にはさまざまなプロセス制御システムオプションがあり、フォトレジストプロセスのすべてのステップで正確な監視と分析が可能です。光学、環境、運動パラメータを監視し、ユニットのパフォーマンスを最適化するために調整することができます。高度なオートメーション、正確な監視と分析、高品質のフォトレジスト層の組み合わせにより、1600-44マシンは、集積回路やその他のフォトリソグラフィックアプリケーションの生産において強力な資産となります。