中古 VERTEQ 1600-34 #293609203 を販売中

VERTEQ 1600-34は、フォトリソグラフィを使用してさまざまな基板上にパターンを作成するフォトレジスト機器です。最大1ミクロンの解像度でパターンを印刷できる中規模システムです。これは、2つの独立したランプ、1つは紫外線、もう1つは可視光を使用して、基板に光を投影します。紫外線と可視光源の両方は、ユニット内のエキシマーランプによって提供されます。プリント工程では、あらかじめデザインされたパターンのフォトマスクを基板の上に置き、光にさらします。パターンは、フォトレジスタントポリマーを介して基板に転送されます。このマシンには、高精度のXYステッピングプラットフォームが装備されており、フォトマスクに関連して基板を非常に正確に配置できます。さらに、VERTEQツールには、フォトレジストパターニング品質を検証するためのカメラが装備されています。このアセットは汎用性が高く、回路やその他のマイクロストラクチャーの印刷など、さまざまな用途に使用できます。主に集積回路、フラットパネルディスプレイ、薄膜やナノ材料の正確なパターン化を必要とするその他のデバイスの製造に使用されます。その柔軟性により、小型から大型まで様々なサイズの基板に対応でき、様々なフォトレジスト材料をサポートします。温度制御やガス制御などの高度な機能により、スピンコーティング、スプレー、液浸などのさまざまなフォトリソグラフィープロセスにも適用できます。1600-34は非常に信頼性が高く、パターニングプロセスで高い歩留まりを提供します。最小限のメンテナンスニーズで設計され、静かに動作するため、研究室や生産ラインにも適しています。また、緊急時の自動シャットオフなどの高度な安全機能を搭載しています。