中古 VERTEQ 1600-34 #293590150 を販売中

製造業者
VERTEQ
モデル
1600-34
ID: 293590150
Spin Rinse Dryer (SRD).
VERTEQ 1600-34フォトレジスト装置は、エレクトロニクス業界向けのウェハレベル集積回路の製造を支援する高精度コーティングおよびイメージングシステムです。このユニットは、一貫した画質と均一性を備えたフォトリソグラフィ性能、および最初から最後までの迅速で正確なコーティングとイメージングを提供します。精密モーションプラットフォーム、高性能な光学部品、自動化されたプロセス制御を備えた真空コーティングチャンバーを備えています。1600-34ツールは300-600mmのフットプリントを提供し、正確で反復可能なコーティングとイメージングの結果を得るために設計されています。真空コーティングチャンバーは、均一な環境を確保し、サーマルドリフトを最小限に抑えるために、正確な公差と温度制御で構築された2シートの穴あきステンレス壁で構成されています。上、下、サイドグリッドのセットは、パネルの全長に沿って精密な堆積をさらに確実にします。コーティングチャンバーには精密なモーションプラットフォームが搭載されており、積み下ろしや積み下ろしを行うことなく基板アライメントや配置などの多機能操作が可能です。アセット内の高度な光学部品は、光効率を最大化し、画像全体にわたって鮮明で均一な解像度を確保するように設計されています。光学ステージには、精密反射防止または真空コーティング、UVおよびUV可視光源、および正確な位置測定のための干渉計が装備されています。自動化されたプロセス制御を提供するために、VERTEQ 1600-34 Photoresist Modelは、プログラマブルレベルのプロセス制御を備えたPLCコントローラを内蔵しており、お客様は製品の特定の要件に合わせてプロセスをカスタマイズできます。また、プログラマブルロジックコントローラをカスタマイズして、レイヤーの厚さ、均一性、およびその他のパラメータを設定して、プロセスのパフォーマンスを最適化することもできます。また、この機器はユーザーフレンドリーで直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えているため、撮影プロセスにアクセス、制御、管理が容易です。さらに、システムは最大限の安全性と効率を目指して設計されています。一体型の圧力管理ユニットと、オペレータの安全を確保するための緊急停止機能を備えています。1600-34フォトレジストツールは、正確で反復可能なコーティングとイメージング機能を必要とする企業にとって理想的な選択肢です。このアセットは、すべてのお客様の特定のアプリケーションで変化する優れたパフォーマンスとプロセスを提供します。
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