中古 VERTEQ 1600-3 #9209716 を販売中

製造業者
VERTEQ
モデル
1600-3
ID: 9209716
Spin Rinse Dryer (SRD).
VERTEQ 1600-3は、精密ウェーハ加工用に設計された専用フォトレジスト装置です。この実績のあるシステムは、フォトレジストコーティング、露出、写真構造の開発など、重要なプロセスで高い再現性のある品質結果を達成するために半導体業界で広く使用されています。1600-3は小型の鋳造アルミニウムフレームを備えており、モバイルおよび産業用途に適しています。ウェーハプレートの垂直位置を最適化するために、フルコントロール、Z軸高さ調整ユニットを備えています。また、均一な露出均一性を確保するために、回転ウエハークランプを装備しています。この機械は例外的な光学性能のためのオートフォーカスが付いているフルスペクトル、キセノンベースの画像プロジェクターを含んでいます。さまざまな写真解像度を生成し、露出エネルギーの流れを正確に制御するために必要なさまざまなソフトウェアモジュールによってサポートされています。また、ウェーハプレートの正確な位置決めとスキャンを可能にする包括的なインデックス作成ツールを備えています。VERTEQ 1600-3には、コーティング、露出、および開発プロセス用の2つのプリインストールされたプロセスチャンバーがあります。コーティング材を均一に配合するためのステンレス製のプラテンと、残りのフォトレジスト材を取り除くための裏面のプラテンが付属しています。すべての機能は、クリアなフルカラーグラフィックスと簡単な操作のためのシンプルなユーザーフレンドリーなメニューを備えたタッチスクリーンユーザーインターフェイスを介して制御されます。1600-3には、包括的なフォトレジスト化学キットのスイートと、ウェーハピンセット、キャリア、攪拌機などの幅広いアクセサリーが付属しています。アセットは事前検証済みで、直径13インチまでの基板処理に使用できます。VERTEQ 1600-3はプロフェッショナルで高品質なpホトレジストモデルで、さまざまな重要なフォトレジストプロセスに優れた結果と使いやすさを提供します。小型で様々な環境での使用が可能で、優れた性能特性を持つ信頼性の高い再現性の高いソリューションをお探しのお客様に最適なソリューションです。
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