中古 VERTEQ 1600-3 #9196056 を販売中

VERTEQ 1600-3は、様々なレジストを撮影するための最先端の3ビームフォトリソグラフィ装置です。それは精密な結果を保障するために高度のレーザー源、光学システムおよび敏感な光学探知器を特色にします。このユニットは、大きな基板上の可変的な厚さに抵抗する場合、高いスループット、高分解能、および高いスループット精度を提供します。1600-3は、3つの異なるレーザービームを使用して、広範囲のスキャンを可能にします。レーザーソースは、高いスループット性能を実現できる堅牢な制御ソフトウェアによって駆動されます。光学システムには特許取得済みのNanoFeedback™技術が搭載されており、精度とスループットを最適化するためにイメージング条件を積極的に監視します。作り付けの調理法管理機械はプロセスパラメータの急速な調理の編集そして口径測定を可能にします。このツールは非常にモジュール化されており、生産用リソグラフィーアプリケーション用に構成することができます。基板の取り扱い、基板の座席配置、基板の間隔制御など、さまざまな基板管理オプションが用意されています。VERTEQ 1600-3アセットは、イメージングに加えて、1時間あたり最大25個のウェーハを3次元マッピングおよびイメージングすることができます。また、独自の設計により、高精度真空装置の自動化が可能となり、イメージング時の接着性と性能が向上します。さらに、システムは、既存のレシピの簡単な検索と編集のためのイメージングレシピの自動ライブラリを備えています。全体的に、1600-3フォトレジストユニットは、さまざまな厚さの抵抗に信頼性の高い正確なイメージングを提供します。このマシンの堅牢な設計、汎用性の高いレーザー光源、および敏感な検出器は、多重化からマスキング、イメージングまで、さまざまなフォトリソグラフィ用途に最適です。