中古 VERTEQ 1600-3 #293758511 を販売中

VERTEQ 1600-3は、半導体業界のニーズに合わせて特別に設計されたフォトレジストシステムのシリーズです。高速で高精度な感光性コーティングプロセスを提供するように設計された完全自動化された機器であり、さまざまなフォトレジストコーティングおよび基板で使用することができます。フォトレジストコーティングの照射を精密に制御する専用システムを採用し、200〜300mmウェーハなど様々な基板サイズに対応できます。1600-3は、ウェーハスプレーユニットを内蔵したモジュール分配ユニットを使用し、均一な厚さのコーティングを施します。これにより、複雑なパターン領域でも均一なスポットで基板全体に塗布することができます。レーザーダイオードを使用して基板やフォトレジストコーティングの反射率を正確に測定する独自の反射測定ツールを搭載しています。これにより、金属化された基板を含むすべてのタイプの基板で均一なコーティング厚さを実現できます。VERTEQ 1600-3にはウエハスケールディスペンスチャンバーが内蔵されており、カスタムメイドのノズル技術により、ニードルヘッドを介して正確なコーティング成膜を保証します。これにより、ユーザーは制御や精度を犠牲にすることなく、広い領域にフォトレジストコーティングを正確に堆積することができます。また、温度制御された乾燥オーブンも備えており、均一なコーティング厚さを保証します。1600-3はまたコーティング工程の間に回ることを可能にする反射ウェーハの段階を特色にします。これにより、複雑なパターンの基板でも均一なスプレーカバレッジが可能です。また、オプションの自動ウェーハトラッキング装置を搭載し、コーティングプロセスの精度をさらに高めています。フォトレジストシステムには、いくつかの安全機能も含まれています。このユニットには、コーティングプロセスからのガスおよび粒子状汚染物質の痕跡を含む安全キャビネットと、クリーンな作業環境を確保するHEPAフィルターが含まれています。このマシンには、非常用電源カットオフと、ツールが安全でない状態にある場合にユーザーに警告するアラーム付きのモニターも含まれています。全体として、VERTEQ 1600-3は、精密なフォトレジストコーティングプロセスを提供する高度なフォトレジストアセットです。ウェーハスケール分配室、温度制御乾燥オーブン、統合ウェーハトラッキングモデル、反射率測定装置、安全キャビネットなど、さまざまな機能を備えています。これらの機能により、半導体業界で使用するための汎用性、信頼性、安全性の高いフォトレジストシステムとなります。