中古 VERTEQ 1600-2 #9169238 を販売中

VERTEQ 1600-2装置は、高精度と再現性を維持しながら、特徴サイズを0。2 µmまで作成するように設計された高度なフォトレジスト生産システムです。このユニットは、デリバリーマシン、コントローラ、フォトレジストコーティングおよび露出プロセスモジュールで構成されています。配達ツールは、スピンドル実装基板を正確に動かすためのマイクロポジショニングロボットで構成されています。工具細工の特徴は基質およびサイズの広い範囲を可能にします。これにより、3秒の負荷とアンロード時間で高精度で低遅延を実現します。このスピンドルは、標準ピッチを使用して、プラグナプレイの使いやすさのために、さまざまな基板および基板サイズに対応しています。オンボードコントローラはプログラマブルロジックコントローラ（PLC）を備えており、自動抽出、配送、位置情報のための光学アセットインターフェイスと統合されています。このインターフェースを使用することで、ユニークなユニバーサルデザインにより、さまざまな基板タイプから測定および記録を行うことができます。PLCは、ロボットの動き、スピンドルの加速と減速、およびその他の要因を制御するために、個別のプログラミングライブラリでプログラムされています。最後に、最先端のフォトレジストプロセスモジュールは、基板サイズと形状プロファイルを正確に一致させるために使用される特別なアルゴリズムを使用して、アクティブ領域上の優れた均一性を提供します。このモジュールは抵抗の厚さの優秀な制御を提供します、コーティングの層の厚さの広い範囲の正確な抵抗の厚さ制御を可能にします。モジュールに特化した光学系やフォトマスクを用いて高精度・高再現性を実現しています。全体として、1600-2フォトレジストモデルは真空蒸着用に設計されており、最大0。2 µmのサイズに耐えます。プログラム可能なPLCおよび理性的な配達装置は高精度および反復性を保障します。特別な光学系は、レジストの厚さとアクティブエリアの優れた均一性を正確に制御することができます。VERTEQ 1600-2は、半導体、マイクロエレクトロニクス、バイオテクノロジー業界のフォトレジスト用途に最適です。