中古 VARIAN Custom #182056 を販売中
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ID: 182056
Stainless Steel Vacuum Coater System
Includes:
4 pocket egun
Quartz heaters
Solid state ebeam power supply
5cm ion mill
30cfm mechanical pump
GE PLC controller
ic5 crystal controller
CTI 10 cryo pump.
VARIAN Customは、半導体エッチングおよび製造のための高精度で費用対効果の高いリソグラフィープロセスを提供するように設計された先進的なフォトレジスト機器です。フォトレジスト(Photoresist)とは、半導体ウェーハやその他の基板上にパターンや画像を作成するために使用される、光に敏感な材料の一種です。特定の波長の光にさらされると、フォトレジストは化学組成を変化させ、露出した領域または露出しない領域になります。これらの露出されていない領域では、回路、アンテナなどの回路をウェーハにエッチングすることができます。カスタムは、ユーザーがより正確にリソグラフィ処理を制御できるカスタマイズ可能な機能を多数備えているため、従来のフォトレジストシステムと比較して優れたパフォーマンスを提供します。このシステムは、優れたプロセスウィンドウのパフォーマンスを可能にする高度なフォトレジストレイヤー機能を備えています。VARIANカスタムフォトレジストユニットは、高度なイメージング特性により、優れた解像度と非常に低い欠陥を提供します。光線の強度や焦点を調節する電気光学変調器を搭載した画期的なイメージングマシンで、高解像度パターニングが可能です。また、このツールはレーザー誘発フォワードトランスファー(LIFT)フォーカスとアライメント技術を使用して、正確なフォーカス制御と機能のスムーズなスクライブを実現します。さらに、Customは自動化されたディスペンスコントロールを提供し、ユーザーは使いやすいソフトウェアで目的のパターニングパラメータを調整することができます。さらに、アセットには温度制御ユニットと高度なパターンオプティクスフィードバックモデルが内蔵されており、プロセスの信頼性を最大限に高めています。全体として、VARIAN Customは、半導体ウェーハやその他の基板上にパターンや画像を作成するための効率的なリソグラフィープロセスを提供するように設計された先進的なフォトレジスト機器です。このシステムは、従来のフォトレジストシステムと比較して優れた性能を提供し、高度なイメージングおよびディスペンス制御オプションおよびその他のカスタマイズ可能な機能を備えています。その結果、カスタムは、高品質の製品を生産しながら、ユーザーが時間とお金を節約するのを助けることができます。
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