中古 USHIO UXM-2400P #9142455 を販売中

USHIO UXM-2400Pは、さまざまな医療およびエンジニアリング用途の高解像度マイクロストラクチャーを製造するために設計されたフォトレジスト機器です。広分散パルスレーザー、高コントラスト・高解像度ミラー、二軸デジタルサーボパターンジェネレータなどの高度な機能を搭載しています。このユニットは、多くの微細加工プロセスに適した均一な光の分布と100nmの小さい特徴を生成することができます。UXM-2400Pで使用されるレーザーは、393nmの周波数と100nsのパルス長のUV周波数2倍のNd： YAGです。Nd： YAGレーザーは、フォトレジスト層の剥離に必要な高容量の紫外線パルス源を提供します。USHIO UXM-2400Pは、パワー、パルス持続時間、パルスレートなどのパラメータを正確に調整して目的の結果を得ることができる高度な制御機を備えています。このツールは、露出モードとパターンモードの2つのモードで操作できます。露光モードでは、フォトレジストは短時間レーザーパルスにさらされ、その後除去されます。パターンモードでは、露出時間を最大30秒増やすことができ、より複雑な形状を作成できます。UXM-2400Pには統合されたイメージングアセットがあり、ユーザーはプロセスをリアルタイムで表示できます。このモデルは、テレセントリック光学ペアと高解像度カメラで構成されています。これは、ユーザーがプロセス中に発生する可能性のある問題を特定するのに役立ちます。その後、露出後のベークとウェット処理機能を使用してフォトリソグラフィー処理を完了します。露出後のベークは、ユーザーがオーブンでフォトレジスト層を乾燥させることができます、ウェット処理は、エッチング室またはスプレー抽出装置のいずれかで行われます。要約すると、USHIO UXM-2400Pは、高解像度のマイクロストラクチャーを生成するために設計されたフォトレジストシステムです。広い分散パルスレーザー、高コントラストと高解像度ミラー、および二軸デジタルサーボパターンジェネレータを内蔵しています。この装置には、リアルタイムでプロセスを観察するためのイメージングマシンと、露出後の焼き付けおよび湿式処理のための機能があります。これらの機能を組み合わせることで、さまざまな医療およびエンジニアリング用途における微細構造の正確な製造が可能になります。