中古 Unknown BPE-2000W #9282437 を販売中

SteamUnknown Unknown BPE-2000Wは、マイクロエレクトロニクスおよび半導体産業のアプリケーション向けに設計されたフォトレジスト機器です。幅広い基板上のフォトレジスト構造のエッチング、パターニング、修正、修復に使用できる汎用性の高いシステムです。このユニットは、2つのフォトレジスト層が異なるポテンシャルを持つフィルムによって生成される高電圧差を利用して、エッチング工程の選択性を促進する新しい電気化学プロセスであるProperty-Aidを利用しています。これにより、マスクを必要とせずにクローズドジオメトリをエッチングし、均一な構造を作成して基板の整合性を維持することができます。プロセスは、必要な基板上のフォトレジストフィルムのスピンコーティングから始まります。BPE-2000Wマシンは、ブルーライトを使用してフォトレジストを照射および活性化し、選択的エッチング、最小ブリッジ、高いアニール温度、および改善されたエッジ変動制御を可能にします。照射工程では、露光層の均一性を確保するために光密度計を使用し、基板組成、エッチング深さ、フォトレジストフィルム接着を前提とした最適な照射パラメータを選択して開発しました。照射が完了すると、2つのフォトレジスト層のフィルムが2つの電極に接続されます。Property-Aidプロセスは、Unknown BPE-2000Wツールによって提供される制御電流で開始され、フォトレジストフィルムにパターンをエッチングします。特性補助プロセスはまたエッチング周期の間の基質のより高い温度を償います。パターンがエッチングされると、後処理段階は、アプリケーションに応じて、ダイシング、フリップチッピング、リバースエッチング、および形成を含むさまざまなプロセスで構成することができます。BPE-2000Wアセットには、後処理段階で粒子がフォトレジストフィルムに侵入するのを防ぐための防塵機能が内蔵されています。未知のBPE-2000Wモデルは、最適なエッチング工程を提供し、手動調整の必要性を最小限に抑え、微細加工プロセスの均一性とスループットを向上させることもできます。結論として、BPE-2000W装置は、マイクロエレクトロニクスおよび半導体産業のための汎用性と信頼性の高いフォトレジストシステムであり、クローズドジオメトリをエッチングし、基板整合性を維持し、エッジ変動制御を改善するように設計されています。Property-Aidプロセスを使用することで、フォトレジスト構造をマスクなしでエッチングでき、後処理は最適な結果を得るためのさまざまなプロセスで構成されます。この信頼できる単位は塵の保護および容易な手動調節を保障している間均一性およびスループットを最大にするように設計されています。