中古 ULTRON UH 101 #142775 を販売中

ULTRON UH 101は、集積回路や高度なマイクロデバイスの製造に使用されるフォトレジスト機器です。フォトレジスト（photoresists）は、光にさらされたときに化学的または物理的特性を変化させる材料であり、パターンを基板に転送するために使用することができます。伝統的なフォトレジストは、通常感光性ポリマーであるベースレイヤーと、エッチング工程で使用される開発者に不溶性の化合物を通常含んでいるトップコートで処方されます。UH 101システムは、集積回路生産のためのユーザーフレンドリーで費用対効果の高いソリューションです。ユニットは4層レジストと中間レジストで構成されています。4層レジストは感光性ポリマーとトップコートの両方を組み合わせ、フォトレジスト材料の単層で配合されています。これにより、プロセスの数が減り、フォトリソグラフィの複雑さが低下します。インターレイヤレジストは、強化された接着特性と改善されたバリア特性を備えた追加の保護層を提供し、エッチング中の層のカップリングを防止します。ULTRON UH 101マシンはまた、均一なエッチング率を可能にすることによってパターン化された層の欠陥を減らすように設計されている組み込みの活性化とエッチング処理を備えています。さらに、UH 101ツールはさまざまなフォトマスクで使用でき、他のフォトレジストシステムを使用するよりも細かい解像度で複雑なパターンを作成できます。この柔軟性により、ULTRON UH 101アセットは、高解像度パターニングを必要とするマイクロマシニングやその他のアプリケーションに最適です。要約すると、UH 101は集積回路生産用に設計されたフォトレジストモデルです。この装置は、4層レジストと中間レジストを備えた経済的でユーザーフレンドリーなソリューション、ならびに欠陥を低減する組み込みの活性化およびエッチング処理を提供します。ULTRON UH 101システムは、さまざまなフォトマスクで使用でき、高解像度マイクロマシニングに最適です。