中古 ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 130 #9398881 を販売中

ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 130
ID: 9398881
ウェーハサイズ: 6"
Die matrix expander, 6".
ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 130は、高度な生産ライン用途向けに設計されたフォトレジスト装置です。このシステムは、生産を加速し、精度と効率を高め、コストを削減するように設計されています。それはマイクロエレクトロニクス産業、ICの製造業および研究開発の適用のために使用されます。このユニットは、基板上にコーティングされた高度なフォトレジスト層を利用しています。UV光源で照射するとフォトレジスト素材が消灯し、基板パターンに対応した透明パターンが明らかになります。この透明パターンは、エッチング、乾燥、または高精度で基板を加熱するために使用できます。USI UH 130マシンの高度な機能には、露光時間の自動制御、UV光源強度、基板と光源の距離、およびその他のパラメータが含まれます。これは、手動露出アプローチよりも優れた再現性と精度を提供します。さらに、このツールには高度な安全機能が含まれています。紫外線への露出を防ぐ保護カバー、意図しない露出を防ぐための安全連動アセット、異常な動作が検出された場合に電源を遮断する安全連動モデルを備えています。ULTRON SYSTEMS INC UH 130装置は、大量の生産環境で使用されるように設計されています。5,000個以上のショートランやロングランに使用できます。あらゆるサイズの基板に対応し、最大5,200 cm2の面積を持つ12インチウェーハの加工が可能です。全体的に、UH 130フォトレジストシステムは、高度な生産ライン用途向けに設計されています。フォトレジスト層によるエッチング、乾燥、加熱基板の再現性、精度、可変性を向上させた自動ユニットです。また、紫外線や危険な条件からオペレータを保護するための安全機能も備えています。
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