中古 ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 130 #9123400 を販売中

ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 130は、超小型集積回路のリソグラフィ製造に使用する高性能フォトレジスト装置です。レジストアプリケーションと開発ユニット、イメージングユニット、スキャナーユニット、コンピュータ制御機、廃棄物除去ステーションなど、複数のコンポーネントで構成されています。このツールは、光波や紫外線への曝露を利用して、シリコンまたはガラス基板上の画像を生成するように設計されています。レジストアプリケーションおよび開発ユニットは、レジスト材料を液体、蒸気、または半固体形状に保持するチャンバーを備えています。このチャンバーを使用すると、レジストコーティングを基板に均等に塗布することができます。イメージングユニットは、4プレックスと6プレックスの2つの光学キューブを使用して、基板に光波を集中させます。この露出により、フォトレジスト層に所定の露出パターンを作成できます。スキャナアセットは高速スキャナヘッドを使用して、基板をイメージングユニットの周りに移動させます。このモデルは300ナノメートルの特徴を解決することができ、毎秒25cmまでの露出速度を可能にします。コンピューター制御装置は、システムを正確に操作できるものであり、ユーザーフレンドリーなGUIにより、露出パラメータの簡単なセットアップと調整が可能です。最後に、廃棄物の除去ステーションは、過剰なレジスト材料だけでなく、任意の空気汚染物質を除去し、ユニット内の清潔度の高いレベルを確保します。全体として、USI UH 130フォトレジストマシンは、超小型集積回路のリソグラフィ製造に使用される強力で信頼性の高いツールです。このツールは、高い精度と精度で実行することができ、また、簡単なGUIを介して簡単にセットアップと操作を可能にします。超小型集積回路をお探しのお客様には、このアセットは理想的な選択肢です。