中古 ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 130 #9096008 を販売中
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ID: 9096008
ウェーハサイズ: 2"-3"
Die Matrix Expander, 2"-3"
Table-top
3" Stroke with speed control and adjustable ram height
Digital temperature control
115 V, 3 A, 1 Ph, 50-60 Hz.
ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 130は最先端のフォトレジスト機器です。このシステムは、ユーザーに最高レベルのリソグラフィ機能と超高解像度イメージングを提供するように設計されています。ユニットの主な構成要素は、露出レベル、分解能、再現性を正確に調整できるNovelon-TM Multi-Layer Resist and Machine Controllerです。このフォトレジストツールは、高解像度の光学系とイメージングアセットも備えています。使用される光学系は、従来の光学リソグラフィーシステムよりも高い1。2ミクロンのピクセルピッチと解像度を持つ超高解像度マスクとペアリングされた高NA光学カラムを含みます。イメージングモデルは複数のレジストレイヤーを同時に表示することができ、金属、半導体、または多層レジストパターンを高精度に作成できます。イメージング装置は、コンピュータ制御の電動プラットフォームとも統合されています。このプラットフォームを使用すると、基板を簡単に配置、移動、回転でき、基板の整合性を維持しながら目的のアライメントを容易に取得できます。USI UH 130には、高解像度の光学およびイメージングに加えて、自動露出とサンプリング機能を提供する高度なソフトウェアプログラムと、あらかじめ設定された露出レシピの組み込みライブラリも含まれています。このプログラムは、さまざまな材料やプロセス要件の露出シーケンスをカスタマイズするために使用できます。ULTRON SYSTEMS INC UH 130は、半導体およびプリント基板業界で幅広い用途を持っています。このシステムは、プラグ経由、多層レジスト機能、高アスペクト比の穴、高分解能ライン幅などのパターンを作成するために使用できます。汎用性の高いイメージングユニットにより、低オーバースプレーが可能で、プリント基板の製造に非常に適しています。結論として、UH130は、トップレベルのリソグラフィ機能と高解像度イメージングをお探しのユーザーにとって理想的な選択肢です。機械の高度なモーター式プラットフォーム、高NA光学、自動露出およびサンプリング機能により、信頼性が高く高精度なフォトレジストツールとなります。
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