中古 ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 130 #293767011 を販売中

ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 130
ID: 293767011
ウェーハサイズ: 6"
Die matrix expander, 6".
ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 130フォトレジスト装置は、フォトレジスト材料を基板やフォトマスクにコーティングするための先進的なシステムです。このユニットは3軸ガントリーを使用しており、さまざまな形状やサイズの基板やマスクにフォトレジスト層を正確に適用するために、垂直、水平、横方向の動きが可能です。USI UH 130は、全方向に3ミクロンの精度で高解像度を誇り、その高精度により、非常に薄いフォトレジスト層を基板やマスクに適用することができます。このマシンには多くの自動化された機能が搭載されているため、ユーザーはフォトレジストコーティング作業を素早く簡単にセットアップして完了できます。ULTRON SYSTEMS INC UH 130は、無駄の少ないフォトレジスト材料の正確な計測を可能にする特許取得済みのノズル設計を採用しています。このツールはまた、高解像度のビジョンアセットを使用して、基板またはマスクを適用されるフォトレジストと正確に整列させます。これにより、従来のフォトレジストコーティングプロセスに関連する手作業を排除しながら、アプリケーションプロセスが再現可能で正確であることが保証されます。UH 130の自動化された機能により、スループットと生産性が向上します。フォトレジストコーティングプロセスの速度と信頼性を向上させるために、露出自動化、露出後ベーク、露出後遅延のオプションを利用できます。オプションの自動厚さ測定ツールを使用して、コーティングが指定された厚さ公差内にあることを確認することもできます。このモデルには、緊急シャットダウンボタンやマシンインターロックなどの安全機能、および潜在的な危険や機械の動作に関するインシデントを示すアラームも装備されています。また、ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 130はCSA/UL-Listedであり、電気安全のためのNFPA 79規格に準拠しています。USI UH 130は、高解像度、自動化された機能、高い安全性と信頼性を提供するフォトレジストコーティングプロセスに最適です。スループットと生産性を向上させながら、人件費を削減できるように設計されています。その多くの機能により、さまざまなフォトレジストコーティング用途に最適です。
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