中古 ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 114 #9294201 を販売中

ID: 9294201
Wafer taper Power supply: 115 V, 3 Amps.
ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 114は、ハイスループットおよび高解像度アプリケーション向けに特別に設計された次世代の最先端フォトレジスト機器です。超高解像度イメージングに最適化されており、露光精度に優れ、ベーク・アンド・ピール時間が極めて低くなります。USI UH 114の先進的なフォトリソグラフィ技術は、半導体業界で最も困難な構造を含む、最も要求の厳しい基板に対して優れたプロセス制御を提供します。高度な画像解析ソフトウェアの最新技術を活用し、より徹底した画像解像度、解像度の厳格な制御、既存の構造物の正確な検査を可能にし、生産プロセスにおいて非常に高い印刷忠実度を確保します。株式会社ウルトロンシステムズUH114は、露光レベル、基板温度、基板表面トポロジに関するリアルタイムデータを提供する独自のin-situセンサーを使用しています。これにより、不要なフォトレジスト残留物の正確なプロセス制御と削減が可能になります。このマシンには、ウェーハと画像の正確なアライメントを確保するための堅牢なコントローラスイートも含まれています。このツールは、フォトレジストの厚さの広い範囲を処理するように構成されており、ユーザーは可能な限り最も正確な画像処理、処理、露光時間を達成することができます。ULTRON SYSTEMS INC UH 114はまた、開発と加工の両方でより大きな画像処理のための統合された、超高解像度カメラを備えています。UH114フォトレジストアセットには、高精度で効率的な自動露出メカニズムが組み込まれており、露出設定の手動変動を排除します。これにより、プロセスにおけるヒューマンエラーを排除し、ユーザーはフォトリソグラフィとイメージングプロセス全体にわたって正確で均一な露出を達成することができます。このモデルはまた、各ウェーハの表面全体にわたって一貫した画像を保証する強力でダイナミックなアライメント装置を備えています。USI UH114は、従来のフォトレジストツールと比較して高いスループットを提供し、非常に低いベークおよびピール時間を誇っています。また、高速スキャンや再現可能なデータ取得など、最適な露光時間と最適な画質を保証する高度な機能も搭載しています。UH 114フォトレジストユニットは、最も困難な基板に対してフォトリソグラフィとイメージングプロセスの新しいレベルの精度を提供します。高度なフォトリソグラフィ技術、効率的な自動露出メカニズム、強力なダイナミックアライメントマシン、超高解像度カメラにより、最も複雑な構造を作成するための信頼性の高い高スループットプロセスを提供します。さらに、アセットのベーク&ピール時間が低いため、厳しい処理要件を持つプロジェクトに理想的なソリューションです。
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