中古 ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 114 #9292713 を販売中

ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 114は、フル機能のフォトレジスト機器です。その機能には、高度なパターニング機能、高スループット性能、およびプロセス制御精度が含まれます。フォトレジストシステムには、望ましい解像度とパターニング精度を達成するための自動液体処理機能と統合された分析ツールもあります。フォトレジストユニットは、設計されたレイアウトのエネルギーパターンを基板表面に転送することによって動作します。その後、マシンは基板の表面に望ましいパターンを作成するために変調された高輝度の光のビームに基板を公開します。光線は、電子ビーム源と制御ツールに接続された発光ダイオード（LED）アレイによって生成されます。ビームは、ビームが基板表面に集中するように分散する光学アセットによって導かれます。フォトレジストモデルは、マイクロエレクトロニクスデバイスと回路の正確かつ再現可能なパターン化を可能にするように設計されています。また、光強度、時間的および空間的精度、および強度変調の正確な制御により、非常に高解像度のイメージング機能を提供します。フォトレジスト装置は、複雑なデバイスの正確な3Dパターニングを可能にする多層プロセスを含む幅広いパターニングオプションを備えています。さらに、このシステムは、回路の種類やレイアウトの複雑さに応じて、さまざまなリソグラフィープロセスで使用することができます。フォトレジストユニットは、スループット性能、エッジ定義、オーバーレイ精度、パターン忠実度の面でも高いパフォーマンスを誇っています。信頼性が高く、さまざまな基板にも対応しています。全体として、USI UH 114は高度なパターニングオプションと正確なイメージング結果を提供するハイテクフォトレジストマシンです。幅広い機能により、高精度・高精度が最も重要な半導体業界など多くの産業に最適です。