中古 ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 114 #9237154 を販売中

ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 114は、光源を用いてシリコンウェーハをエッチング・開発し、高精度性能を実現するフォトレジスト機器です。USI UH 114は、先進的な光イメージング技術を使用して、最大直径200mmまでのウェーハ上の正確な露出フォトレジスト画像パターンを実現し、高品質のレジストでコーティングします。フォトレジストシステムには、完全に自動化されたトラックおよびアライメントユニットと高度な自動スプレープロセスがあり、さまざまなシリコンウェーハで正確なパフォーマンスを発揮します。ULTRON SYSTEMS INC UH114は、均一性、プロセス速度、ラインからラインへの登録、グローバルな登録特性を正確に制御することができます。また、最適なレジストプロファイル性能のための最適な処理パラメータを決定することもできます。高解像度（HR）ステッパーを使用して、高精度の画像処理と正確な露出制御をユーザーに提供します。ステッパーは、高精細画像の印刷に必要なプロセスの再現性と精度を提供します。UH114は、クォーツ、クロムオンクォーツ（EtchMask）、ガラス、GaAsなど、さまざまなフォトマスクを使用することができます。このツールはまた、高速ウェーハの動きをサポートし、より高い収率を可能にします。UH 114は顧客の好みに基づいて2、3、または4つの露出モードで動作できます。2つの露出モードでは、ウェーハは2つのフォトレジスト層に同時に露出されます。3つの露光モードでは、フォトレジスト層の間に明確なフィルム層が含まれ、均一性を高め、クロスハローを低減します。4つの露出モードでは、洪水露出を使用して、ウェーハ表面全体にフォトレジストを均一に適用します。ULTRON SYSTEMS INC UH 114は、エッチング分離および開発中にすべてのフォトマスクパターンが完全に満たされるように、積極的な診断機能も備えています。ウェットエッチング検査ステーションを備えており、ユーザーは高い歩留まりを確保するためにフォトマスクポストエッチングと開発を検査することができます。さらに、このアセットには、ウェーハ表面の欠陥を検査するための統合検証ステーションがあります。ULTRON SYSTEMS INC/USI UH114は、高度な技術を統合し、高精度な結果を得て、運用パフォーマンスを向上させます。安全な構成モデルにより、正確な再現可能なプロセスとウェーハの歩留まりが保証されます。信頼できる動作環境で信頼できる結果をユーザーに提供するように設計されています。