中古 ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 114 #293657345 を販売中

ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 114は、チップメーカー、フォトレジストサプライヤー、ファウンドリのニーズに対応する高性能フォトレジスト機器です。このシステムは、露出パラメータの正確な制御とレジスト層の厚さの均一性で、優れた画質と均一性を提供します。高度なUVイメージング技術を搭載し、ユニークな3軸ステージと組み合わせて正確なオーバーレイアライメントを実現します。このユニットは、最大0。2 μ mの解像度で、超高解像度フォトリソグラフィープロセスを可能にするように設計されています。最先端のLEDイメージングを利用し、広いダイナミックレンジで優れた線幅分解能を提供します。このマシンはPre-BAW技術を使用して、従来のバイナリマスクアライナーシステムよりも迅速な露出、画像アーティファクトの迅速な解決、およびより大きな露出フィールドを可能にします。このツールは、さまざまなウェーハサイズの複数の動作レシピをサポートすることも可能で、画質を最適化し、スループットを加速するための柔軟性を可能にします。その統合されたイメージング資産は、8「、12」、および16「および18」ウェーハを処理することができます。大容量の本番環境向けに設計されており、故障率が非常に低く、整列時間が大幅に短縮されます。このモデルは、自動化されたエッジアライメント、ウェーハステッチ、およびエッジツーエッジの均一性により、画質のための包括的なプロセス最適化を提供します。この装置はまた、新しいフォトレジスト製剤やプロセスレシピの要件に容易に適応する柔軟性を提供し、さまざまなデバイスや技術のサポートを可能にします。この露出システムは、優れたアライメントとオーバーレイにより、困難なICパターンで優れた結果をもたらし、フィーチャー幅のエラーを最小限に抑えます。ユニットの人間工学に基づいた設計により、オペレータのアクセスが容易になり、ウェーハの位置と操作が容易になります。最高品質の産業用途向けに設計されたUSI UH 114は、コスト効率の高い歩留まり改善と付加価値の高いアプリケーションに最適です。この機械は、モバイルおよびハイエンド半導体ICデバイス、MEMS、フォトマスク製造などのアプリケーションに、信頼性の高いリソグラフィ性能を提供します。