中古 ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 114-8 #293671773 を販売中
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ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 114-8は、大容量のマイクロエレクトロニクスデバイス製造用に設計された高性能フォトレジスト装置です。フォトレジストシステムは、堅牢で信頼性の高いケミカルディスペンスユニットで構成されており、フォトレジストを基板に正確に分配して広げるために使用されます。エアーナイフとスピンコーターをディスペンス機と一体化し、基板上にフォトレジストを均一にコーティングします。このツールは、高度な制御インターフェースを備えた高精度な分配およびコーティングプロセス制御を提供し、アセットの正確なプログラミングと操作を可能にします。ケミカルディスペンスモデルは、強力なモーターと堅牢なモーションステージで構成されており、基板にフォトレジストを迅速かつ正確に分配することができます。大容量加工とサイクルタイム向上のため、高流量で設計されています。ディスペンス装置は、基板表面にフォトレジストを均一に広げ、自動スピンコーターを提供するためにエアナイフモジュールと統合されており、フォトレジストが基板全体に均等に分布することを保証します。USI UH 114-8は多段式自動回転装置も備えており、システムの高精度制御を可能にします。スピンコーターは、優れたフォトレジストの厚さのための高い均一性と均一な粒子層を提供するための特許技術が含まれています。ユニットはまた、よりクリーンな基板表面のための粒子や揮発物の除去を容易にするためにチャンバー真空機で設計されています。さらに、ディスペンシングツールには高度なデジタルコントローラが装備されており、ディスペンスとコーティングパラメータの両方を微調整できます。これにより、プロセス管理が改善され、収量と製品品質が向上します。また、デジタルコントローラにより、ディスペンシングプロセスとコーティングプロセスの簡単なセットアップとプログラミングが可能です。全体として、ULTRON SYSTEMS INC UH 114-8は、大量のマイクロエレクトロニクスデバイス製造用に設計された堅牢で信頼性の高いフォトレジスト資産です。高流量のケミカルディスペンスモデル、エアナイフ、自動スピンコーター、高度なデジタルコントローラを備えており、正確なプロセス制御と簡単なセットアップが可能です。この装置は、フォトレジストを基板に正確かつ均一に適用し、優れた歩留まりと製品品質を提供します。
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