中古 ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 110 #9394210 を販売中

ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 110
ID: 9394210
ウェーハサイズ: 3"-6"
Flim stripper, 3"-6".
ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 110は、高精度リソグラフィ用途向けに設計されたフォトレジスト装置です。このシステムは、プロセスの様々な段階で高度なリソグラフィ技術を組み合わせた独自のリソグラフィ技術を使用しています。このフォトレジストユニットは、ディープUV、 ニアUV、真空UV露光などのリソグラフィ処理に使用でき、ファインピッチ構造の高解像度イメージング機能を備えています。フォトレジストマシンは、優れた解像度を提供し、その優れた解像度、高コントラスト、および優れたエッチング特性により、マイクロオプティクスやMEMS製造などの先端技術に特に適しています。他のフォトレジストよりもパフォーマンスが向上しており、より高い解像度の画像とより広いプロセスウィンドウを可能にします。このツールは、10〜20nmの小さい特徴を高精度で作成できる3次元構造を提供します。それにプロフィールの形および性能のよりよい制御を可能にする正確に制御することができる非常に薄い抵抗のプロフィールの厚さがあります。また、UV光に対する感度が高いことからコントラストが高く、リアルな外観を実現するのに役立ちます。USI UH 110はコンパクトに設計されており、全体的なパフォーマンスを向上させ、コストを削減するためにコンポーネントの統合パッケージを提供します。さらに、このアセットは高度にカスタマイズ可能であり、お客様固有のアプリケーションの既存のリソグラフィーシステムに簡単に統合できます。また、アスペクト比の許容誤差が高いため、機能のアライメントが向上し、リソグラフィ性能が向上しました。また、エッチング性に優れ、厚みがあるためバンディングや不均一なパターンもありません。また、一般的なフォトレジスト溶媒に対する耐性にも優れています。ULTRON SYSTEMS INC UH 110は、マイクロオプティクスやMEMS製造などのリソグラフィ用途で優れた性能を発揮する高性能フォトレジスト装置です。解像度、高コントラスト、エッチング特性に優れているため、さまざまなリソグラフィープロセスに最適なシステムです。また、高度にカスタマイズ可能でユーザーフレンドリーで、お客様固有の要件に最適なパフォーマンスを提供します。
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