中古 ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 108 #9394207 を販売中

ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 108は、マイクロエレクトロニクスデバイス製造に使用するフォトマスクおよびリソグラフィックプレートを製造するために設計されたフォトレジスト機器です。それは40ワット源が付いている875 nmレーザーのダイオードか35ワット源が付いている633 nmレーザーから成っています。このシステムは、最大1ミクロンの寸法精度を達成することができ、高解像度のイメージングおよびデバイス機能サイズを必要とするアプリケーションに適しています。フォトレジストユニットは、その使いやすさを高めるためにいくつかの機能を持っています。自動化されたウェーハハンドリングマシンを搭載しており、最大200mmまでのウェーハの迅速な積み降ろしが可能です。このツールには、レーザダイオードの適切な温度範囲を維持するためのダイオードレーザー冷却サブシステムと、信頼性の高い安定した動作のためのソリッドステートDC電源も含まれています。フォトレジストのアセットには、高品質のイメージングを保証するためのさまざまな機能が含まれています。これらにはパルス幅変調（PWM）が含まれ、1。0ミリ秒単位でパルス幅を調整できます。これにより、レーザーパルスを正確に制御することができ、イメージング精度と再現性が向上します。また、スプライス効果のない1mmまでの様々な膜厚にも対応可能で、連続パターンを確保しています。これらの機能に加えて、フォトレジスト機器には、セットアップと操作に役立つ多数のソフトウェアパッケージがあります。これらのソフトウェアパッケージを使用すると、ユーザーはカスタムパターンをメモリに保存し、システム上で編集し、使用するためにイメージファイルに転送できます。これにより、複雑なフォトマスクやリソグラフィープレートを簡単に作成できます。最後に、フォトレジストユニットには、ESD接地バスの使用、すべての敏感な回路の分離、周囲光を検出および制御するためのフィルタシステムなどの追加の安全機能が含まれています。これらの機能はすべて、空気中の粒子や静電気の損傷から機器を保護しながら、高品質の画像を生成する安全で信頼性の高いマシンを使用していることをユーザーに保証します。結論として、USI UH 108は、高解像度イメージングとデバイス機能サイズを必要とするアプリケーションに最適なフォトレジストツールです。自動化されたウェーハハンドリングアセットとレーザー冷却サブシステムは、迅速なロードとアンロードを可能にし、高度な画像操作機能は優れた画像精度と再現性を提供します。さらに、その高いレベルの機能安全性により、あらゆるマイクロエレクトロニクスデバイス製造アプリケーションに最適です。