中古 ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 108 #293628721 を販売中

ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 108は、最新のリソグラフィ技術を使用して電子業界で高品質で正確な画像を生成するフォトレジスト機器です。UV光を利用して様々な基板上にフォトレジスト膜を選択的に露出させるシステムであり、フォトレジストパターンの製造プロセスに追加の開発ステップは必要ありません。このユニットは、UVソースからの非常にバランスの取れた出力を持ち、最も一般的なフォトレジストフィルムでシャープな画像を提供します。ランプ出力で特許取得済みの空間フィルタを使用することで、回折レベルを低減し、画像のシャープさと解像度を向上させます。このマシンでは、フォーカスアライメントのための光の分布は、ウェーハ基板上のより高い均一性の照明のための改善された設計で、SEMI123/SEMI214/SEMI224規格と一致しています。光学のより大きい分野そして改善された角度制御は基質の露出の均等性を改善するのを助けます。投影されたフォトレジスト画像は、MAMM （Automated Motorized Automatic Macro Magnifier）およびPCA （Optional Position Compensation Accessories）によって簡単に検査できます。これにより、手動検査にかかる時間を効果的に短縮し、基板露出時の時間を短縮することができます。USI UH 108は大量生産用に設計されており、高精度で再現性のある露出校正仕様を備えています。このツールは、ウェーハ表面全体にわたってUV露出レベルを調整し、複数の露出レベルにわたって所望のプロファイルを達成します。この校正プロセスの結果は、タイミングではなく画像データに基づいているため、永続的です。さらに、ウェーハおよびフィルム圧力制御モデルも備えており、露出装置を真空、一定の圧力、または空気の下で動作させることができます。このシステムは、基板への露出の均一性をさらに向上させ、潜在的な露出のずれを軽減するのに役立ちます。ULTRON SYSTEMS INC UH 108は、エレクトロニクス業界のフォトレジストユニットに最適です。高精度で再現性のある露出校正仕様と、均一な照明、および真空、一定の圧力、または空気露出のオプションを提供します。オプションの検査装置により露光時間がさらに短縮され、精度と画質が向上します。