中古 ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 102 #9124003 を販売中

ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 102は、ダイレクトライティングリソグラフィープロセスの開発用に設計されたフォトレジスト機器で、精密リソグラフィーアプリケーションで一般的に使用されています。このユニットは、基板またはウェーハ上に再現可能な高解像度のマイクロストラクチャーを生成するように設計された完全な統合フォトレジストシステムです。それは1 μ mから5 μ mのサイズの範囲の精密で、強い構造特徴そして鋭く定義されたパターンを作り出すことができます。このユニットは露出精度、安定性、直線性を最適化するように設計されており、プロセス工程を最小限に抑えたアサーティブ機能の生産を可能にします。USI UH 102は2段階の抵抗プロセスを利用します；第1段階はレジスト材料の熱成分とパターンですが、第2段階は一連の開発者ステップでレジストを後処理します。単位にフィルムの均一な沈着を可能にする精密な暖房機械があり、温度の選択のための直感的なインターフェイスを提供する表示が付いているデジタルコントローラーを特色にします。さらに、このユニットは最大50mW/cm2、最大0。1 μ mの露出範囲を備えています。このツールには、空間分解能テストアセットが内蔵されているほか、露出後のモニタリングモデルもあり、一貫したプロセス出力を実現します。本装置は、フィルム表面のコントラストを評価することにより、レジスト開発時の膜厚の変化を検出することができます。ULTRON SYSTEMS INC UH 102には精密計測システムが搭載されており、1 μ m〜5 μ mの範囲の小さな特徴を測定することができ、基板のマイクロジオメトリも理解できます。UH 102には、均一なレジストフィルム厚さを提供するように設計された自動レジストコーティングユニットがあり、一貫して一貫した正確なポスト露出パターンを提供するようにプログラムすることができる自動ポスト露出開発機を備えています。さらに、ユニットには高精度のフォトレジスト分配ツールがあり、簡単に調整でき、均一な分配率を提供できます。ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 102は、効率的で信頼性の高いフォトレジスト資産であり、プロセス工程の最小数で再現可能な高分解能パターンを生成できる高精度のリソグラフィープロセスを提供します。デジタルコントローラ、自動レジストコーティング、露出後の開発者、計測機器など、このモデルの多くの機能は、精密リソグラフィーのアプリケーションに非常に適用可能になります。USI UH 102は信頼性が高く、正確で費用対効果の高いリソグラフィーツールです。