中古 ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 102-8 #9159218 を販売中

ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 102-8は、高解像度マイクロチップ、薄膜電子デバイス、およびその他のマイクロエレクトロニクス部品の製造用に設計された先進的なフォトレジスト機器です。このシステムは、リソグラフィ処理に深紫外線（DUV）露出を利用しており、高精度の臨界次元（CD）制御を提供します。このユニットには、高出力の水銀蒸気DUV光源、ステッパー/スキャナーユニット、電源ユニット、およびウェハステージおよびマスクアライメントコンポーネントが装備されています。また、マルチチャネル光アライメントマシン、ウェーハステージ、コントローラも含まれています。このツールは、ウェーハ全体にわたって均一なレジストパターンを維持することができ、優れた長期安定性とプロセスの再現性を提供します。USI UH 102-8アセットに組み込まれた先進的な光学系は、特に狭いラインと小さなコンタクト/ビアサイズで優れた制御を提供します。そのDUVソースは360nm-420nmの波長を提供し、露出レベルが特定のイメージングニーズに最適化されることを保証します。さらに、密閉されたウェハステージは、連続真空中のイメージング領域を囲み、酸化およびガス外の効果を最小限に抑えます。このモデルの高精度多軸メカニズムは、可能な限り最小のCDでイメージング装置の高速露光をサポートするように設計されています。独自の電源ユニットにより、DUV露出がウェーハ全体にわたって安定して一貫していることを保証します。さらに、この装置は、障害、ドリフト、ディザリング補償などの高レベルのプロセス自動化機能を備えています。オペレータはまた、サブミクロンレベルまでの露出源パラメータを自動プロセス監視と制御で調整することができます。ULTRON SYSTEMS INC UH 102-8は、マイクロエレクトロニクス製造のための最高の要件を満たすように設計された高度なフォトレジストシステムです。精密な光学、自動化された特徴および堅牢な電源の組合せは例外的な効率の良質の部品の生産を保障します。