中古 ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 102-8 #9113171 を販売中

ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 102-8は、半導体の製造性と歩留まりを向上させるために特別に設計された高性能で完全に統合されたフォトレジスト加工装置です。2つの強力な処理ソースと16ビットMicroHプロセッサで構成されています。このシステムは、レーザースキャンとクリーニングを統合して粒子の汚染を最小限に抑え、優れた結果を保証する最先端の技術で構築されています。このユニットは、複数のワークフローの統合と多数のエッチング技術の適用を可能にします。その主な特徴は、活性基板画像安定化（ASIS）とパターン転送のための最高レベルの精度と再現性を提供するコア登録機です。このツールはまた、優れたフィールド均一性、パターン忠実度の向上、フラットトップの高さの減少、深さの減少を提供します。パッケージ全体には、統合ソース、光学フィルター、レーザーシャッター、ビームブランキング、フィルムモーション機構、スリット機構、ガス供給サブシステムが含まれています。また、幅広いスペクトルレジストから先進光源（AL）まで、幅広い露光源を提供しています。さらに、USI UH 102-8は、インテリアビューポート、統合されたクリーンルームの壁/設備、紫外線およびレーザー光源、手動/自動調整ステーション、レーザースキャニングモデル、マイクロスポットマスクなどの幅広いオプションを提供します。自動フィルムおよびスリット測定機能と自動ビームアライメント装置は、さまざまなアプリケーションでエラーのない露出を確実に実現します。ASIS機構は、（サブミクロン系でも）小さな基板誤差を自動的に補正し、正確な画像配置を保証します。さらに、高性能の光学系とレーザースキャン技術により、すべての露光に対して高速かつ効率的な画像を保証します。ULTRON SYSTEMS INC UH 102-8は、高度な半導体の製造性と歩留まり目標の要件を満たすように特別に設計された優れたフォトレジスト処理システムです。その洗練されたシステムと技術は、パターン転送の優れた性能と信頼性を保証します。このユニットのハイエンド機能は、高精度、再現性、低スプレッドの結果も保証します。