中古 ULTRON SYSTEMS INC / USI Prism 350 #9092430 を販売中

ULTRON SYSTEMS INC/USI Prism 350は、すべてのリソグラフィ用途向けに設計された先進的でモジュール式で費用対効果の高いフォトレジスト開発装置です。このシステムは、ウエハーにレジストを塗布し、紫外線または可視光にさらすために使用されます。これにより、ユーザーはレジストをパターン化してから、光にさらされたウエハの部分をエッチングすることができます。精密な投薬精度と高度なオートメーションにより、正確なレジストコーティングと繊細なレジストパターニングで優れた性能を発揮します。ウェーハポッドにウェーハカセットを配置するためのウェーハロボットと、正確なディスペンスとリンス時間を提供する精密ポンプ機を備えています。ウェーハは接触工具または近接工具を介して光にさらすことができ、その後統合された基板加熱により、一貫したレジスト開発プロセスが保証されます。このツールはまた、洗浄プロセスのための精密蒸留および濾過された水源、ならびに精密レジストコーティング用の統合フィルムエッガーを含むことにより、環境保護を強化しています。自動廃棄物処理資産は、洗浄中の粒子発生を低減するように設計されています。直感的なワークフローと予測診断を提供するユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスにより、機能がさらに強化されています。接触と近接の両方を備えたHybridシステムには、タッチスクリーン技術、強化されたアライメント精度、拡張線量範囲、および追加の解決能力が組み込まれています。USIプリズム350フォトレジスト開発モデルは、コスト効率の高いパッケージで柔軟性、パフォーマンス、使いやすさを提供します。高いスループットと一貫した生産歩留まりで、信頼性が高く効率的な生産を実現します。幅広い機能と高度なオートメーションを備えたこの装置は、大量の生産プロセスに最適であり、さまざまなプロセスやアプリケーションで洗練された高度で繊細な抵抗力を発揮します。