中古 ULTRON SYSTEMS INC / USI Prism 350 #65812 を販売中
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ID: 65812
ヴィンテージ: 2005
3-Axis selective coating system
Standard features included:
3-Axis (X/Y/Z) coating system
Stainless steel pin-chain conveyor:
Hand crank width adjustment, dual pneumatic board stops
Ultra Spray CAT 35 ILDS: dual mode
2-Gallon pressurized coating reservoir
Low level sensor
Liquid filter
Manual control valves
Pressure regulator
Solvent purge system
Solvent and purge cups
Light tower
Flat panel monitor support arm
Multi-axis PCI motion control system
Programmable X/Y/Z motion
Windows XP based graphical user interface
Laser pointer for programming
Digital AC closed-loop servo driven motors
Precision ball screw drives
Welded steel system frame
Door interlock
Exhaust interlock
Power requirements: 220/240V, 50/60Hz
2005 vintage.
ULTRON SYSTEMS INC/USI Prism 350は、マスク製造、エッチング、リソグラフィなどの微細加工プロセスに最高レベルの性能を提供する高精度フォトレジスト装置です。このシステムは、5µm以上の解像度と0〜500nmのダイナミックレンジを持つフォトレジストを生成することができます。これは、サブミクロンのリソグラフィを含む挑戦的なマスク製造プロセスだけでなく、ハイエンドの印刷アプリケーションにも適しています。USI Prism 350は、ユーザーフレンドリーで直感的なソフトウェアと直感的で人間工学に基づいて設計されたユーザーインターフェイスを備えた、完全に自動化されたユニットで設計されています。このマシンは最先端の性能を提供し、再現性と高い一貫性のある結果、時間経過とともに高解像度の結果を生み出すことができるため、高スループット動作に最適です。ULTRON SYSTEMS INC Prism 350は、3軸オープンアーキテクチャプラットフォームに基づいており、自動処理ツールを備えており、処理オプションの柔軟性を最大限に高めています。アセットには、調整可能な光源が含まれており、最大3500Cd/m2の光強度を提供します。このソフトウェアは、光源とモデルの高度な光学系の高度な制御とプログラミングを提供し、露光領域全体にわたって均一で均一な光強度を確保するのに役立ちます。Prism 350はまた、高度で自動化されたマスクメーカーを備えており、最新の微細加工技術の厳しいプロセス要件を満たすために完璧なマスクを製造することができます。このモジュールは、90%以上の転送比でマスク対応フォトレジストパターンを生成することができます。さらに、自動化されたソフトウェアと組み合わされた装置の高度な光学パッケージは、任意の解像度とダイナミックレンジで高い忠実性を保証します。このシステムには、マスク製造を含むさまざまなプロセスチェーン工程を実行できる高度なソフトウェアも含まれています。露出から露出後のベーキング、イメージングまで、マスク製造プロセスのすべての主要なノードとコンポーネントを制御できます。さらに、このユニットの高度な機械学習機能は、マスク作成プロセスを劇的に改善し、成功するために必要な時間と労力を大幅に削減することができます。ULTRON SYSTEMS INC/USI Prism 350は本当に高性能フォトレジストマシンであり、時間の経過とともに卓越した結果を提供します。堅牢なオートメーション、優れた光学系、高度なソフトウェアにより、マスク作成プロセスに挑戦するのに最適なツールです。その反復可能で非常に一貫した結果は、時間と効率が常に最も重要であるハイスループット・オペレーションに最適です。
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