中古 ULTRON SYSTEMS INC UH 114 #9139674 を販売中

ULTRON SYSTEMS INC UH 114
ID: 9139674
ウェーハサイズ: 6"
Tape mounter, 6".
ULTRON SYSTEMS INC UH 114は、フォトレジスト用途に最適な露光を提供する高度なフォトレジスト装置です。高度な光学系と独自のソフトウェアを使用して、正確で一貫した結果を保証します。システムは、高性能ストロボ光源、2つのラップトップ、およびさまざまな光学部品で構成されています。光源は、指定された周波数とパルス速度で非常にコヒーレントな光のビームを提供し、光コンポーネントは必要に応じて光ビームを変調します。2つのノートパソコンは、キャリブレーションと画像取得を含むユニットのユーザーインターフェイスを提供します。UH 114は、広い領域に正確で均一な露出を提供することができ、他のフォトレジストシステムと比較して優れた解像度と歪みを最小限に抑えることができます。高出力ストロボソースにより、高い露出分解能を実現し、信頼性の高い再現性により、信頼性の高い再現性を実現します。ULTRON SYSTEMS INC UH 114は、正確性と再現性を確保するため、露出前にさまざまな校正および校正の事前スクリーニングルーチンを実行します。キャリブレーションプリスクリーニングプロセスは、センサーの応答とプロセス余白をチェックしながら、露出領域の歪みを低減するのに役立ちます。さらに、露出間の光学的整合性を絶えず監視し、維持します。実際の露光中に、フォトレジストを基板上に塗布し、UH114が光源を生成し、所望のパターンに従ってその露出を正確に変調します。最後に、ULTRON SYSTEMS INC UH 114は、時間経過とともに露出を監視し、必要に応じて電力レベルと露出設定を調整する自動最適化機能を備えています。これにより、最適な露出パラメータが維持され、露出変動と反りが最小限に抑えられます。全体として、UH 114は高度なフォトレジストマシンで、広範囲にわたって正確で均一で反復可能な露光を提供します。その強力な光学ソース、キャリブレーションのプリスクリーニングツール、および最適化機能により、信頼性の高い結果が得られます。その機能は、フォトレジストのアプリケーションに最適です。
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