中古 ULTRA OPTICS MR3 #9357168 を販売中

ULTRA OPTICS MR3は、ULTRA OPTICSが開発したフォトリソグラフィープロセスで極めて高分解能を実現するフォトレジスト装置です。このシステムは、パターン化するパターンに応じて、紫外線を選択的に照射するフォトレジスト素材を使用しています。紫外線にさらされると、フォトレジストは物理的および化学的変化を起こし、その結果、レリーフ画像が形成されます。MR3ユニットの主な利点は、幅広い材料と高解像度との互換性です。機械は6ミクロンから75ミクロンまでの幅の単層パターンを作成することができます。さらに、ULTRA OPTICS MR3ツールは、10ナノメートルの解像度を達成することができ、非常に小型で複雑な設計の生産を可能にします。MR3資産には、より大きな設計の可能性とより速い生産を可能にする自動多層イメージングプロセスがあります。まず、フォトレジストをウェーハまたは設計領域のレイヤーに塗布し、露光時間を正確に決定します。次に、ロボットアームが最初の層に紫外線を適用します。最後に、フォトレジストは硬化し硬化します。このプロセスは設計の各層ごとに繰り返され、複雑な3次元パターンを迅速かつ効率的に生成することができます。さらに、ULTRA OPTICSモデルは、カスタマイズ可能な露出および硬化パラメータを備えており、各アプリケーションが手元のタスクに正確に適していることを保証します。これらのパラメータには、シャッタースピード、ビームサイズ、投与量、露光時間が含まれます。全体として、ULTRA OPTICS MR3装置は非常に汎用性が高く、高解像度で自動化されたフォトリソグラフィーシステムであり、複雑なパターンを正確に制御することができます。そのため、非常に精密で複雑なデザインを生み出すには非常に貴重な財産です。