中古 ULTRA OPTICS MR3 #293820553 を販売中

製造業者
ULTRA OPTICS
モデル
MR3
ID: 293820553
Spin coater.
ULTRA OPTICS MR3は、リソグラフィとマイクロマシニングアプリケーションの両方で優れた性能を提供するように設計された画期的なフォトレジスト機器です。このシステムは、最適なイメージングと高解像度の機能を提供するように設計された最適化された反射防止コーティング(ARC)などの高度なフォトレジスト技術で構築されています。このユニットは、露光源とイメージング技術の面で柔軟性を提供し、レジストにプラスとマイナスの両方の画像投影を処理することができます。これにより、光学アプリケーションや電子ビームアプリケーションなど、さまざまなリソグラフィ用途で使用することができます。機械の中心で高分解能、低い収縮を提供するように設計されている高度の抵抗の公式は優秀な付着および優秀な表面保護抵抗します。フォトレジストツールMR3また、さまざまなアプリケーションに適したエッチング抵抗の広い範囲を提供しています。このアセットは、表面マイクロマシニング、ディープリアクティブイオンエッチング、プラズマエッチング、従来のフォトリソグラフィーエッチングなど、さまざまなマイクロマシニングアプリケーションで使用できるように設計されています。レジストの集積特性と高感度により、基板表面の正確なフィーチャー配置と、あらゆるエッチング環境での正確なフィーチャー形成を実現します。このモデルは、非常に有用な製造インターフェイスと高度なオートメーション機能を使用して、一貫したプロセス制御とコスト削減を可能にします。ULTRA OPTICS MR3フォトレジスト装置は、オートメーションモジュールを迅速かつ簡単にプログラミングし、さまざまな複雑な手順を実行できます。結論として、MR3は、リソグラフィおよびマイクロマシニングアプリケーションで最適な性能を提供するように設計された高度なフォトレジストシステムです。このユニットは、高度なレジスト製剤を使用しており、幅広い製品範囲を提供しているため、幅広い用途に適しています。洗練されたオートメーションモジュールと高度なイメージング機能により、正確なフィーチャー形成と優れたアライメント精度を実現します。
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