中古 ULTRA OPTICS MR3 #293815326 を販売中

ULTRA OPTICS MR3は、フォトマスク、ウェーハ、その他の光電子デバイスの精密な製造のための高度で高効率なフォトリソグラフィーソリューションを提供するフォトレジスト機器です。マイクロエレクトロニクスエンジニアリング、光学部品製造、オプトエレクトロニクスデバイスおよびシステム開発の分野でのアプリケーションに最適です。独自の電動ステージを採用し、作業材料の高精度な位置決めを実現し、露出精度を最大化する独自の液浸リソグラフィ技術を採用しています。また、低コストでも高解像度出力を保証するリソグラフィーパラメータを完全に管理します。高精度なムーブメントマシンと高度なリソグラフィーパラメータの組み合わせにより、MR3は高精度または広域リソグラフィーのニーズに最適なソリューションです。ウエハ処理用途には、545nmレーザースキャナと355nm He-Cdレーザーを搭載し、それぞれ最大20 Mpixels/sスキャンレート、10 MR3のスキャン解像度、60 mmの対角線までのスキャンエリアを備えたULTRA OPTICS µm。このツールを使用すると、ユーザーは簡単に露光時間とレーザートラッキング速度をパターンの複雑さに合わせてプログラムできます。また、このアセットはレーザー出力を個別に調整して、パターンの異なる部分が正確に露出されるようにすることができます。また、MR3にはハイダイナミックフォーカス制御機能があり、パターニングの課題において安定したスキャン特性を確保します。この機能は、スキャン中にワークマテリアルにオーバーフォーカスおよびアンダーフォーカス信号をコンパイルできる高精度の可変焦点光学で有効になります。また、ULTRA OPTICS MR3プラットフォームのオートフォーカスモジュールへの継続的なフィードバックを提供し、パターニング精度を最適化します。さらに、内蔵の画像歪み除去アルゴリズムにより、露出プロセス中のパターンの不要な歪みを排除します。このモデルは、ダブルチェックスキャンアライメント戦略とプログラム可能な欠陥密度管理装置を備えた効果的な欠陥管理を提供します。このシステムは、スキャンされた画像の潜在的な欠陥をチェック、識別、フラグ付けし、迅速に対処し、より成功した操作を適切に補償することができます。MR3フォトレジストユニットは、マイクロエレクトロニクスリソグラフィの信頼性と強力なソリューションです。このマシンは、高精度の画像処理と高感度オプトエレクトロニクスコンポーネントの生産を提供し、その電動ステージの強力なプラットフォームと制御アルゴリズムは、正確なパターニングを保証します。ULTRA OPTICS MR3は、フォトマスク、ウェーハ、オプトエレクトロニクスデバイスのプロトタイピングと生産に理想的な並列処理ソリューションです。