中古 ULTRA OPTICS MR3 #293614892 を販売中

ULTRA OPTICS MR3は、大判アプリケーションの特別な要件のために設計されたフォトレジスト機器です。クリーニング、コーティング、露出、開発、エッチングなど、幅広い作業に対応し、高い効率性と信頼性を備えています。システムは多数のモジュラーコンポーネントで構成されており、それぞれが特定の目的で設計されています。ユニットの中心には、実際のリソグラフィープロセスを実行する精密ステッパー/スキャナプラットフォームがあります。ステッパー/スキャナ機構は、ウエハを含むあらゆるサイズの基板を直径300mmまで保持するように設計されています。これにより、フォトマスクのすべてのサイズと形状の正確な露出が保証されます。露出した基板は、露出後のベークヒーターに入れられ、フォトレジストの満足のいく結合を確保するために加熱されます。このオーブンで生成されるフォトレジスト層の急速な硬化時間と一貫した深さは、従来の熱接着プロセスと比較して高い精度を保証します。調理された基板は、開発者ステーションに転送され、硫酸溶液に浸漬されます。このプロセスは、基板からの露出していないフォトレジストの除去を自動化し、必要なパターンを明らかにします。また、ディープエッチングやドライエッチングも可能です。このツールには、残留フォトレジストなどの基材を洗浄するための精密スピナーも含まれています。このアセットには独自のワークフローソフトウェアが付属しており、複数のジョブ設定を作成してリソグラフィープロセスを追跡するだけでなく、露出時間、露出温度、ベーキング温度などのさまざまなパラメータをカスタマイズできます。要するに、MR3は精度と信頼性の高い高度なフォトレジストモデルです。これは完全に自動化されているため、さまざまな基板を迅速かつ便利に処理でき、統合されたソフトウェアは、さまざまなアプリケーションのプロセスを簡単に調整するのに役立ちます。デバイス、コンポーネント、およびフォトリソグラフィープロセスを必要とするその他の製品の高品質な生産を提供します。