中古 ULTRA OPTICS Mini II #9277326 を販売中

ULTRA OPTICS Mini IIは、さまざまな基板における微小光学部品の信頼性と高精度な製造を提供するために設計された新しいフォトレジスト機器です。このシステムは、高効率で信頼性の高いフォトレジストユニットを作成するために、いくつかのコンポーネントを組み合わせています。この機械は、優れたゲート定義性能と低い欠陥レベルを提供し、光学部品の製造に役立ちます。これは、オペレータがあらゆるマイクロオプティクス製造環境に簡単にアクセスして使用できるようにコンパクトなフットプリントを備えています。このツールは、基板に高解像度のイメージングを提供する精密USQ 193nm回転投影プロジェクション資産を利用しています。この回転モデルにより、応用フォトレジストを基板上のジオメトリに非常に正確にアライメントできます。投影装置はXYZステージに取り付けられ、投影ビームフォーカスに対して基板を正確に配置します。また、6-Axisロボットアームを使用して、すべてのプロセスモジュール間で基板を正確に転送します。フォトレジストユニットは、基板上のフォトレジストを高精度かつ正確に分配するマルチジェット液体ジェットを使用しています。このプロセスは、プロセス中の廃棄物を削減し、フォトレジストの正確な適用を保証します。フォトレジストを適用すると、基板上に画像を形成するために必要なクロスリンク反応のために円偏光にさらされます。次に、紫外線で見えるイメージングマシンを使用して、クロスリンク領域を監視します。自動化されたスピンコーターを使用して、フォトレジストを大型基板に適用し、均質なアプリケーションを提供できます。このスピンコータツールはMini IIアセットに統合されており、優れたプロセス再現性と精度を提供するフォトレジストコーティングの自動適用が可能です。最後に、フォトレジストモデルの精度は、統合された制御装置によって保証されます。このシステムにより、オペレータはグラフィカルユーザーインターフェイスを使用して、フォトレジストの線量、カメラの露出時間、分配速度、スピン速度などのパラメータを制御できます。これにより、画像処理が再現性と信頼性が確保されます。要するに、ULTRA OPTICS Mini IIは、さまざまな基板における微小光学部品の信頼性と精度の高い製造を提供する高度なフォトレジストユニットです。精密USQ 193nm回転投影機と自動マルチジェット浸漬流体ジェットを使用して、フォトレジストを正確に分配します。統合された制御ツールは、プロセスの再現性と精度制御を提供し、高品質で信頼性の高い製造を保証します。