中古 ULTRA OPTICS Mini II #9259818 を販売中

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製造業者
ULTRA OPTICS
モデル
Mini II
ID: 9259818
Coater and cure oven.
ULTRA OPTICS Mini IIは、半導体メーカーや研究機関などのハイエンドユーザーのニーズに応えるために設計された高性能フォトレジスト加工装置です。広い露光波長範囲にわたって精密なパターニングが可能な強力な360W自動エキシマレーザーを搭載しています。また、光学系の高解像度と安定性により、幅と厚さが10 μ mまでの特徴を再現することができます。オプションの自動OPCモジュールは、複雑なパターンの設計、検証、製造に使用できます。Mini IIは、特殊な高解像度プリズム光学ユニットを使用して、UV照明下での写真マスクやオリジナルパターンの均一な単色画像を生成します。精密なサイズ検出器が付属しており、機械が安定した露出制御を維持し、パターンの歪みを最小限に抑えるのに役立ちます。ユーザーインターフェイスは、直感的で使いやすいように設計されており、さまざまな処理プログラムのユーザーマニュアルと自動制御を提供し、露出パラメータを迅速かつ最適に配置できます。さらに、このツールにはレシピ対応のマスター/スレーブモードが含まれています。これにより、ユーザーはさまざまなパラメータをオーバーラップして比較したり、品質分析と制御のためのプロセスデータをロギングしたりできます。最後に、アセットには、自動機能認識の高度な制御を提供し、必要なプロセスの開発を支援する高度な直感的なソフトウェアパッケージが搭載されています。リアルタイム処理データロギング、パターン認識、エラー防止システムはすべてパッケージに含まれています。ULTRA OPTICS Mini IIは、汎用性が高く、使いやすく、品質の高いフォトレジスト加工モデルであり、ユーザーに正確で信頼性の高い結果を提供します。これは、より複雑なプロセスの開発に最適であり、新しく経験豊富なフォトレジストユーザーのためのユーザーフレンドリーなインターフェースを備えています。
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