中古 TUNG SHUNG 27MQ-E #194141 を販売中

TUNG SHUNG 27MQ-Eは、半導体加工に使用されるフォトレジストシステムです。これは、エラーを低減し、プロセスの品質を向上させることにより、歩留まり率を向上させるように設計されています。このシステムは、フォトレジストの層を光や他の放射線源にさらし、その層の組成や特性を変化させることによって機能します。27MQ-Eは高解像度のステッパーを使用して光や放射線への曝露を取得し制御し、正確な校正と制御を可能にします。一体化された照明アライメントにより、フォトレジスト層の露光ターゲットを非常に正確に撮影できます。さらに、TUNG SHUNG 27MQ-Eの解像度は800nmであり、光、または他の放射線源への曝露が高品質で正確であることを保証します。27MQ-Eはまたフォトレジスト効果を達成することができることを保障するのに使用される基質の暖房機能を特色にします。これは、1分間450°Cまでの温度に暴露する前に基板の温度を上げることによって行われます。基板が定点温度に達すると、フォトレジストが露出します。複雑なハードウェアのセットアップに加えて、TUNG SHUNG 27MQ-Eには、フォトレジスト層への露出の結果をさらに高めるために、ハードウェアと連携して動作するソフトウェアプラットフォームもあります。このソフトウェアプラットフォームは、露光時間、光強度、フォトレジスト流量、およびその他のプロセスパラメータの最適化など、露光の柔軟なスケジューリングと結果の追跡を可能にします。また、以前の結果を簡単にリコールし、将来のプロセスのための新しいレシピを作成することができます。全体的27MQ-E、フォトレジストシステムは、現代の半導体製造の発展のための優れたツールです。使いやすいハードウェアと強力なソフトウェアプラットフォームを備えたTUNG SHUNG 27MQ-Eは、フォトレジストプロセスが最高の精度と精度で実行され、歩留まり率とプロセス品質が向上します。