中古 TRYMAX NEO 2000 #9238169 を販売中
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販売された
ID: 9238169
ウェーハサイズ: 5"-8"
System, 5"-8"
Dual chamber ashing platform
(3) Cassette stations
(2) BROOKS Versaport 2200 Integrated SMIFs
(5) Axis dual arm robots with specific wafer grippers
(4) Process modules:
Microwave downstream (2.45 GHz)
RF Bias (13.56 MHz)
DCP (RF Bias, direct coupling plasma)
Mechanical throughput: > 100 wph
Applications:
Bulk resist strip
Descum processing
Polymer removal
Post high dose implant strip
Silicon nitride etch application
MEMS Application
Compliance:
SEMI S2-01
SEMI S8-01
CE EU-RoHs.
TRYMAX NEO 2000は、精密フォトマスクリードフレーム加工用に開発されたフォトレジスト機器です。フォトレジストコーティングは、TRYMAXと日立化成株式会社との共同開発であり、ユーザーに多くの利点を提供しています。フォトレジストは、リードフレーム処理における拡散、ブリッジ、エッジビーズおよびその他の一般的な欠陥を防止するのに役立ちます。これにより、優れたスループットと優れたリードフレーム処理結果をユーザーに提供します。フォトレジストシステムは使いやすく、ユーザーは事前校正、微調整パラメータを迅速に確立し、製品設計のバリエーションに必要に応じて調整することができます。これにより、リードフレームのプロセスがあらゆる生産ロットで最高レベルに最適化されます。また、NEO 2000は高い精度を維持するように設計されています。これは、リードフレーム層の正確な検査と密度の高いヘッド圧縮によって達成されます。これにより、画層の均一なカバレッジを確保し、リードフレームの欠陥を軽減できます。フォトレジストユニットはまた、光や他の汚染に対するフォトマスク保護を強化しています。これは、フォトマスクの寿命を延ばし、生産修理に伴うコストを削減するのに役立ちます。また、フォトレジストマシンは、ほとんどの業界標準フォトマスクと互換性があります。これにより、ユーザーはジョブごとに別のフォトマスクに投資する必要がなくなり、生産コストを抑えることができます。TRYMAX NEO 2000は、ユーザーに優れた加工精度と製品品質の向上を提供する信頼性の高いフォトレジストツールです。使いやすさとコスト効率の高い生産能力により、リードフレーム処理に最適です。
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