中古 TOSHIBA CMT-600W #9410792 を販売中

東芝CMT-600Wは、東芝株式会社が設計・製造したフォトレジスト機器です。高精度で完全自動化された非接触レジスト処理システムで、大面積の光学オブジェクトの効率的な露出と開発を可能にします。CMT-600Wは、高出力の露光ユニットと高度な露光方法を使用して、極めて高分解能を実現するように設計されています。この機械は、半導体マスク、ディスプレイ、光導体基板など、さまざまな光学オブジェクトに対応できます。東芝CMT-600Wは、400〜450ナノメートルの波長範囲の高出力キセノンランプを採用し、最大4,000 mJ/cm2の露光エネルギーを実現しています。CMT-600Wは、露出ステージと焦点補正ステージを含む2段階の露出ツールを採用しています。露光段階では、キセノンランプからの光を照射し、次に第2段階で焦点補正を行い、基板上の特徴を正確に配置します。このアセットにはオートチルトオプションもあり、基板全体の表面高さが均一でないことを補償するために使用されます。基板全体に均一な露出を実現します。東芝CMT-600Wには、レジスト面のすすぎ・乾燥を素早く簡単に行える強力な開発モデルも搭載しています。強力な露出と開発システムに加えて、CMT-600Wはそれがフォトレジスト処理カテゴリで汎用性の高いツールになる他の機能の多くを備えています。自動クリーニング装置、紫外線放射モニター、統合ギャップフィラーシステムを備えています。また、欠陥を識別し、分離することができる欠陥検査機が内蔵されており、ユーザーはプロセス全体の品質管理を確実にすることができます。東芝CMT-600Wは全体的にフォトレジスト加工に優れたソリューションで、大面積の光学オブジェクトに優れた解像度、精度、柔軟性を提供します。それは優秀な結果を提供するために高度の設計要素と現代技術を結合します。このツールは、半導体マスキングからディスプレイ製造まで、さまざまな用途に適しています。高度な機能と信頼性の高い性能を備えたCMT-600Wは、フォトレジスト処理に最適です。