中古 TOKYO SHOKAI Miniax DH150 #9258849 を販売中

東京商会Miniax DH150は、リソグラフィ画像の開発に使用される革新的なフォトレジスト機器です。ウルトラバイオレット（UV）露光を利用したデュアルビームシステムで、半導体ウェーハ上に潜在的な画像を形成します。このユニットは、リソグラフィのプロセスを容易にし、大量の高精度ウェーハ生産の要求に応えるように設計されています。DH150には2つの高度なUV露出モジュールが装備されており、それぞれに1。5メガピクセルの解像度があります。ウェーハ上で取得した画像の高精度・高解像度を実現します。調整可能な反復露光範囲は1。7〜207 mJ/cm2で、幅広いウエハータイプの画像を確実に作成し、複雑なリソグラフィ要件を満たすことができます。Miniax DH150機には、高精度なトンネルスライドステージを搭載し、ユーザーが均一なウェーハ露出を得ることができます。高解像度のシリコンウエハでも、フォトレジスト素材の素早く正確な露光に最適です。このツールはまた、高度なトンネルのスキャン資産を使用して、ユーザーに強化された均一性と精度を提供します。TOKYO SHOKAI Miniax DH150は、高効率で信頼性の高いスプレーモデルで設計されており、フォトレジスト材料の効率的な配送を実現しています。本装置は、200mmスプレーヘッドで構成され、ウェーハ表面全体に均一なスプレーパターンを提供できる高解像度セットアップを備えています。また、調整可能なスプレーノズル長を備えており、ユーザーはスプレーパターンを正確にカスタマイズし、リソグラフィ要件を最適化することができます。Miniax DH150は、ウェーハの種類の広い範囲で効率的かつ正確なリソグラフィープロセスをユーザーに提供する高度なフォトレジストシステムです。非常に精度の高いデュアルビームユニット、高効率なトンネルスライドステージ、信頼性の高いスプレーヤーを搭載しています。このツールは、精度と高解像度の画像を実現するための優れた選択肢であり、あらゆるリソグラフィ用途に不可欠なツールです。