中古 TOK TS-8162FD #293642815 を販売中

TOK TS-8162FDフォトレジスト装置は、集積回路（IC）の製造に使用される高性能な産業システムです。このユニットは、フォトレジストの最高レベルの接着性とエッチング抵抗を保証する高度な低摩耗の精密洗浄機能を備えています。この機械は、高度なレーザーリソグラフィックエッチング技術を使用しており、シリコンウェーハ上の小型設計を可能にし、マイクロエレクトロニクス製造プロセスで使用するために設計されています。このツールは、高精度な解像度と高速スループットを提供しながら、高い柔軟性を提供するように設計されています。これは、洗練されたin-situ測定アセット、正確なドーパント制御、正確なタイミング調整、複数のレイヤー機能、およびさまざまなレイヤーミックス補償交換プロセスなど、幅広い機能によって達成されます。さらに、このモデルには、独自の完全に自動化されたウェットプロセス機器が含まれています。このシステムは、幅広い制御システムと互換性があるため、既存の生産システムに簡単に統合できます。また、付属のレシピやその他のリソースのライブラリも含まれており、ユーザーは生産プロセスを簡単にカスタマイズできます。このユニットは、生産プロセス全体を改善し、ICの精度と設計の詳細を向上させることができます。TS-8162FDの反応イオンエッチング（RIE）は、最大1 μ mの解像度で高解像度のパターンを生成することができます。真空機能により、透明な基板加工が可能になり、生産速度が向上しますが、同時に高品質のデバイス製造を維持します。TOK TS-8162FDは200-MHzプロセッサを搭載しており、高速で信頼性の高いツールです。ウェーハ搬送用リムーバブルアーム、洗浄用ウェーハタンク、温度制御バブルクリーニングステーションなど、多彩な機能とアクセサリーを誇ります。このアセットには複数のレーザーがあり、独立して調整および構成することができ、幅広いプロセスに適しています。TS-8162FDは、高精度で高精度な集積回路を幅広く作成するのに理想的な、信頼性の高い生産モデルです。カスタマイズされた生産プロセスを提供する能力と複雑なプロセスを処理する能力は、マイクロエレクトロニクスメーカーに最適です。