中古 TOHO KASEI SD-08 #9280838 を販売中

東宝化成SD-08は、エレクトロニクス、オプトエレクトロニクス、MEMS用基板のコーティングおよびパターニング用に東宝化成株式会社が開発したフォトレジスト機器です。このシステムには、他のフォトレジストシステムにはない2つの革新的な技術が搭載されています。最初の技術は新しい基質のDirigentの分配方法（SDD）である。この方法は、フォトレジストの均一なコーティングを基板に提供することができる独自の精密分配機構を使用しています。フォトレジストのこの精密なアプリケーションは、追加の後処理を必要とせずに均一なカバレッジとより正確なパターンを保証します。SD-08で2番目に注目された技術は、高度なPhoton Emission Hotspot Detection Method （PEHD）です。これにより、東宝化成SD-08は、レーザー光を照射した際の基板の加熱によるフォトレジストや基板のエネルギー分布パターンの変化を検出することができます。これにより、レーザー出力やその他のパラメータを自動的に調整して最適な露出を確保することができ、パターン転送と高精度のイメージングが向上します。SD-08には、高感度画像向上フォトグラフィーモジュールや、フォトレジスト層の厚さを設定してより正確なパターニングプロセスを実現するレイヤーシックコントロールマシンなどの便利な機能も付属しています。東邦化成SD-08は、より均一で正確なフォトレジストの応用を実現し、パターン移動や高精度イメージングに最適なレーザー露光を実現するために、基板ダイリジェント分注法とフォトンエミッションホットスポット検出法の2つの技術を特長とする先進的なフォトレジストツールです。その他の便利な機能は、エレクトロニクス、オプトエレクトロニクス、MEMSアプリケーション向けの汎用性と高度なフォトレジストソリューションとして、この資産を取り揃えています。