中古 TOHO KASEI SD-06 #9280836 を販売中
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東宝化成SD-06は、シリコンチップ製造などの高精度・高生産性アプリケーション向けに設計された最先端のフォトレジスト機器です。これは、高精度のリソグラフィを可能にします、1マイクロメートルよりも優れたマスクレス露光精度で、写真定義プロセスにおけるパターン転送のプロセス。このシステムは、ユニット構成の容易さ、簡単なインストール、メンテナンスを促進するモジュラー設計で費用対効果が高くなります。高い加工精度と低残高で安定した性能、および最大12%の高さのバリエーションを提供します。SD-06は、高速乾燥フォトレジストフィルムと低消費電力レーザダイオード源により、生産性を向上させます。また、光学エネルギー効率の向上により、加工コストも低減しています。東宝化成SD-06は、高度な「画像認識」技術により、10 umの高解像度を実現し、アライメントとフォーカスの精度を向上させています。さらに、露出の全波長制御により、材料やプロセス条件の異なる要件に合わせて最大限の柔軟性が得られます。また、高いレベリング能力を可能にし、それぞれの露出領域が同じ量の光を受信することを保証し、層の解像度を向上させます。SD-06はまた、標準化された有害物質管理措置、ならびに偽造防止措置により、安全対策を改善しました。また、精密で均一な空気圧による加工精度に優れ、マスクレス露出アセットを採用しています。これにより、単一の処理設定でより正確なパターンを印刷することができます。結論として、東邦化成SD-06は、チップ製造において高品質な性能を確保するための高い柔軟性、精度、生産性を提供する、費用対効果の高いユーザーフレンドリーなフォトレジストモデルです。その優れた機能により、大小のシリコンチップ製造業務に最適です。
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