中古 TOHO KASEI SD-06 #9280835 を販売中
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東宝化成SD-06は、Photolithoプロセスのために設計された先進的なフォトレジスト装置です。そのユニークな特徴は、エレクトロニクス、医療、自動車、科学研究などのさまざまな産業で使用するための汎用性と信頼性の高いシステムになります。SD-06ユニットは、スピンコーター開発ユニット、スクラビングユニット、紫外線(UV)露出機と結合した基板取得/ステージで構成されています。アクイジション/ステージユニットは、スピンコーター開発ユニットからスピン速度調整可能な基板ステージを介してフォトレジストを転送するプロセスを可能にします。スクラビングユニットは、フォトレジスト残基の残留物を除去するために特に有用です。UV露出ツールは、さまざまなパワーと時間設定での露出プロセスのために、トリガー付きのUV短波ランプを含みます。このアセットは、薄いウェーハから厚いウェーハ、セラミックス、シリコン、金属、ポリマー、電子デバイスのサブアセンブリなど、さまざまな材料を処理できるように設計されています。コンパクトで軽量で、搬送やメンテナンスが容易な省スペース設計です。東宝化成SD-06も低コストで、メンテナンスニーズの低さで信頼性が高いことが実証されています。SD-06機器は、高品質のデザインに基づいていくつかの機能を提供しています。その高度なデジタル制御により、多機能オプションが可能になります。これらには、1から999回転までの基板転送、ユーザー制御のリフトおよび落下速度、およびゼロ速度リフティングが含まれます。高精度で調整可能な露出UVランプは、ハンズオフ操作だけでなく、シャッター制御システムでプログラム可能な露出時間と電力を提供し、合理的な処理を可能にします。さらに、サイクル待ち機能により、ユーザーは自動プロセスのために独自のシナリオをプログラムすることができます。東宝化成SD-06は、運用以外にも優れた安全対策を行っています。プロセス条件に応じて開閉するかどうかを瞬時に決める蓋インターロックユニットを装備しています。この機能は、プロセスが実行されている間にオペレータが間違った条件を設定するのを防ぎます。さらに、ユーザー保護のために、UVライトに取り付けられた安全ガードと安全スイッチが付属しています。SD-06は、高品質で信頼性の高いフォトレジストシステムの製造に最適です。優れたユーザーエクスペリエンスを提供し、より効率的な処理を可能にし、ダウンタイムの短縮とコスト削減を実現します。その高度な技術と機能は、多くの産業の好ましい選択肢となります。
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