中古 TOHO KASEI SD-06 #9280581 を販売中
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東宝化成SD-06は、様々なフォトレジスト材料加工作業に対応する最先端のフォトレジスト機器です。フォトレジストアプリケーションをより簡単かつ高速にするための高度な機能を備えています。このシステムは、テープ転送ステーション、フォトレジストスピンオンステーション、フォトレジストストリップステーションの3つの主要コンポーネントで構成されています。テープトランスファーステーションは、ポリイミドまたはマイラーテープに取り付けられた基板間に分配して転送することができます。フォトレジストスピンオンステーションは、感光材料の均一なフィルムを基板に迅速かつ直接供給するように設計されています。KASEI SD-06は、高速かつ均一なコーティングを実現するために、スピンレートを最大3,000RPMまで向上させる改良されたウェーハチャックを備えています。フォトレジストストリップステーションは、開発後に感光材を除去するように設計されており、基板上でクリーンで正確な表面仕上げを実現しています。このユニットは、さまざまな粘度を持つものを含む複数の感光材料をサポートしています。高粘度材料にはオプションのディスペンスノズルを使用できます。東宝化成SD-06は、大型液晶ディスプレイを搭載し、機械の操作・監視が容易です。ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンインターフェイスにより、パラメータプログラミングと制御が可能です。また、メンテナンスの少ない作業のための自動クリーニングサイクルも備えています。全体として、SD-06は半導体業界での使用に理想的な強力で信頼性の高いフォトレジストツールです。優れたパフォーマンスとプロセスの一貫性を実現する多くの機能を備えています。その3つの主要なコンポーネントは、フォトレジスト材料加工タスクの範囲に適しています。さらに、ユーザーフレンドリーなコントロール、大型液晶ディスプレイ、高速スピンレートにより、信頼性の高い結果を得るのに最適です。
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