中古 THERMO FISHER SCIENTIFIC / SHANDON 312007 #9040707 を販売中
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Thermo FisherTHERMO FISHER SCIENTIAL/SHANDON 312007は、材料の薄い層を基板に精密にエッチングして堆積させたり、多層マイクロストラクチャーを製造するために使用されるフォトレジストシステムです。コントロールパネル、電源、露光源、サンプルプレートで構成されています。フォトレジストシステムは、4 「x4」や6 「x6」などのより大きな標準的な基板に加えて、2 「x2」基板などのより小さな寸法の基板を含む幅広いサイズの基板を処理する機能を備えています。このプロセスにより、バイオメディカルまたはエレクトロニクス用途において高精度で複雑なパターンなどの微細構造のより柔軟な設計が可能になります。フォトレジストのプロセスは、光感受性ポリマーであるフォトレジストの薄い層を基板に適用することから始まります。フォトレジストが配置された後、露光源がオンになり、フォトレジストの露出領域に材料をエッチングまたは堆積させるために焦点を当てたエネルギーのビームを生成します。ビームは正確なアライメントのためにジョイスティックで制御されます。露光プロセスの時間と複雑さを微調整することができ、製造の制御と精度を向上させることができます。露光プロセスが完了すると、フォトレジストが開発されます。この開発プロセスは、化学開発者を使用してフォトレジストの露出領域を溶解することによって機能し、保護マスクとして機能する露出していない領域を残します。このマスクは、エッチングして堆積する部品を定義するためのステンシルとして機能します。フォトレジストが開発されると、残りのエッチングまたは蒸着プロセスは目的の特性に応じて行われます。これらのプロセスには、イオンまたはプラズマエッチング、スパッタリングによる薄膜層の堆積、および電気めっきが含まれます。Thermo FisherSHANDON 312007の助けを借りて行われたこれらのプロセスの組み合わせは、複雑な微細構造と部品システムを持つ部品の精密加工を可能にします。微細構造の正確な製造は、バイオメディカルからエレクトロニクスまで、さまざまな目的のための新しい材料やデバイスの開発における重要なステップです。
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