中古 TEMG TAI CT-1932 #9356045 を販売中
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ID: 9356045
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 2002
Developer system, 6"
(2) Pressure tanks
2002 vintage.
TEMG TAI CT-1932は、高精度のステッパー/スキャナと革新的なイメージング技術を備えた高性能マルチモードフォトレジストコーティング装置です。このシステムは、FTF (Focied Thermal Freeze)技術に基づいており、優れた解像度、タイトな登録、優れた加工性を提供します。ウェーハ、基板、テープなどの素材にフォトレジストでコーティングするのに最適です。CT-1932は高分解能のステッパー/スキャナを使用して、抵抗ノズルの配列を基板に正確に配置します。調節可能なノズルパターンを使うと、ユーザーは容易に特定の条件に一致させるために機械を構成できます。ステッパー/スキャナはまた、正確な中央から端までの登録を可能にし、はるかに厳しいコーティング公差を可能にします。このツールの9軸ロボットアームは、最適なカバレッジを確保するための強力なサーマルイメージングアセットを内蔵しています。このモデルはまた、異なるフォトレジストのためのスマートな材料フローと粘度制御装置を提供し、最適なコーティングの均一性を作成するのに役立ちます。さらに、インライン検査ツールと自動制御システムを内蔵することで、堆積プロセスを最適化し、最大限の信頼性と効率を実現します。TEMG TAI CT-1932には、レシピ、温度、圧力、湿度の高度な監視および制御システムも含まれており、フォトレジスト沈着のための完全なパッケージを提供します。一般に、CT-1932は最高水準のフォトレジストコーティングで高精度と効率を提供します。このユニットは、優れた解像度、タイトな登録、スマートな材料フロー制御、およびフォトレジストの最適な沈着のためのオンライン検査ツールを提供します。高度な監視および制御システムは、最高の信頼性と効率を保証します。TEMG TAI CT-1932は、高度なフォトレジスト市場における主要なフォトレジストマシンです。
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