中古 TEL / TOKYO ELECTRON TAB1500 #293660522 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TAB1500は、半導体装置の製造・組立用に設計されたフォトレジストイメージング機器です。高度な画像処理機能により、高精度で高精度なチップ作成に最適です。このシステムは、ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンインターフェイスを備えており、フォトレジストの処理手順を通じてユーザーを促します。フォトレジストプロセスを開始するには、まず希望する半導体ウェーハをユニットのウェーハステージにロードする必要があります。ウエハーがロードされると、マシンはUV光でウエハーの望ましい層を露出します。その後、アルゴリズムを使用して、光の強度、パターン、角度を微調整し、レイヤーを正確に露出させることができます。フォトレジスト溶媒プロセスは、望ましい層が紫外線にさらされた直後に始まります。溶剤が塗布されると、ツールはウェーハを急速に回転させて一貫したコーティングを施します。さらに、アセットの2センサー技術とスマート基板処理モードにより、ウェーハを均一なコーティングで覆うことができます。TEL TAB1500はまた、精度と効率を向上させるための堅牢なポストエッチプロセスモデルを備えています。これは、回転後のフォトレジスト層の不要な部分をエッチングし、厚さモニターを使用して残りのフォトレジスト層の厚さを測定し、それに応じてウェーハの高さを調整することを含みます。その後、ウェーハがアンロードされ、サイクルが完了する前に、所望の厚さが達成されるまで技術が繰り返されます。精密な半導体デバイスを作るにはフォトレジストのプロセスが不可欠であり、東京エレクトロンTAB1500はそのようなプロセスを遂行するための理想的なモデルです。高度な画像処理機能とエッチプロセスモデルにより、高効率で正確な画像処理が可能です。直感的なユーザーインターフェイスと2つのセンサー技術ツールにより、一貫した均一なコーティングが可能になり、生産の歩留まりが向上します。